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1. (WO2006011449) MEMSフィルタ装置およびその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/011449    国際出願番号:    PCT/JP2005/013582
国際公開日: 02.02.2006 国際出願日: 25.07.2005
IPC:
H03H 9/46 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01), H01L 29/06 (2006.01), H03H 3/007 (2006.01), H03H 9/24 (2006.01)
出願人: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. [JP/JP]; 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 5718501 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HASHIMURA, Akinori; (米国のみ)
発明者: HASHIMURA, Akinori;
代理人: TAKAMATSU, Takeshi; Eikoh Patent Office 7-13, Nishi-Shimbashi 1-chome Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
優先権情報:
2004-218798 27.07.2004 JP
発明の名称: (EN) MEMS FILTER DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
(FR) DISPOSITIF DE FILTRAGE DE MICROSYSTEME ELECTROMECANIQUE ET SON PROCEDE DE FABRICATION
(JA) MEMSフィルタ装置およびその製造方法
要約: front page image
(EN)It is possible to provide a concatenated body of MEMS filters having a design flexibility and capable of ignoring the affect of the mass load. There is provided a structure in which the affect of the mass load is not reflected in the characteristic of MEMS filters by using a carbon nanotube (CNT) or the like as a concatenated body of nano size having a mass which is very small as compared to the micro size MEMS resonator.
(FR)Corps enchaîné de filtres de microsystème électromécanique conçu pour être flexible et pour pouvoir ignorer l’effet de la charge massique. La présente invention décrit une structure dans laquelle l’effet de la charge massique ne se reflète pas sur les caractéristiques des filtres du microsystème électromécanique grâce à l’utilisation d’un nanotube de carbone (CNT) ou son équivalent comme un corps enchaîné de taille nanoscopique ayant une très petite masse par rapport au résonateur du microsystème électromécanique de taille microscopique.
(JA) 設計に柔軟性があり、質量負荷の影響を無視することのできるMEMSフィルタの連結体を提供することを目的とし、カーボンナノチューブ(Carbon Nanotube;CNT)など、マイクロサイズMEMS共振器に比べて質量が非常に小さい、ナノサイズの連結体を連結部に使用することにより、質量負荷の影響がMEMSフィルタの特性に反映されない構造を提供する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)