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1. (WO2006010128) MAINTENANCE, DIAGNOSIS AND OPTIMIZATION OF PROCESSES
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2006/010128 国際出願番号: PCT/US2005/024580
国際公開日: 26.01.2006 国際出願日: 11.07.2005
予備審査請求日: 07.02.2006
IPC:
G06F 19/00 (2006.01) ,G06F 11/30 (2006.01) ,G01N 37/00 (2006.01)
G 物理学
06
計算;計数
F
電気的デジタルデータ処理
19
特定の用途に特に適合したデジタル計算またはデータ処理の装置または方法
G 物理学
06
計算;計数
F
電気的デジタルデータ処理
11
エラー検出;エラー訂正;監視
30
監視
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
37
このサブクラスの他のいずれのグループにも包含されない細部
出願人:
ONWAFER TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 6591.A Sierra Lane Dublin, CA 94568, US (AllExceptUS)
発明者:
MACDONALD, Paul, D.; US
KRUGER, Michiel; US
WELCH, Michael; US
FREED, Mason, L.; US
SPANOS, Costas, J.; US
代理人:
WILLIAMS, Larry; 3645 Montgomery Drive Santa Rosa, CA 95405, US
優先権情報:
60/586,89210.07.2004US
発明の名称: (EN) MAINTENANCE, DIAGNOSIS AND OPTIMIZATION OF PROCESSES
(FR) PROCEDE ET APPAREILS DE MAINTENANCE, DE DIAGNOSTIC ET D'OPTIMISATION DE PROCEDES
要約:
(EN) A method and system (50) for monitoring processes, optimizing processes, and diagnosing problems in the performance of a process tool for processing a workpiece. One embodiment of the present invention includes a software program that can be implemented in a computer for optimizing the performance of a process tool for processing a workpiece. System 50 includes a design experiments module (60), a perturbation model builder (70) and a data analysis module (75).
(FR) L'invention porte, dans un aspect, sur un procédé de surveillance de procédés, d'optimisation de procédés, et de diagnostic de problèmes relatifs à la performance d'un instrument de traitement permettant de traiter une pièce à travailler. Dans un autre aspect, l'invention concerne un système configuré pour surveiller des procédés, optimiser des procédés et diagnostiquer des problèmes relatifs à la performance d'un instrument de traitement servant à traiter une pièce à travailler. Un mode de réalisation de l'invention comprend un programme logiciel qui peut être installé dans un ordinateur afin d'optimiser la performance d'un instrument de traitement d'une pièce à travailler.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 英語 (EN)
国際出願言語: 英語 (EN)