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1. (WO2005111263) 真空処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/111263    国際出願番号:    PCT/JP2005/008882
国際公開日: 24.11.2005 国際出願日: 16.05.2005
IPC:
C23C 14/56 (2006.01), G11B 7/26 (2006.01)
出願人: SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION [JP/JP]; 2-5-1, Kasama Sakae-ku, Yokohama-shi Kanagawa 247-8610 (JP) (米国を除く全ての指定国).
IKEDA, Jiro [JP/JP]; (米国のみ).
TAKIZAWA, Yoji [JP/JP]; (米国のみ)
発明者: IKEDA, Jiro; .
TAKIZAWA, Yoji;
代理人: KIKUCHI, Osamu; Aozora International Patent Office 4th Fl., Imas Hamamatsucho Bldg. 2-10-4, Hamamatsucho Minato-ku, Tokyo 105-0013 (JP)
優先権情報:
2004-146770 17.05.2004 JP
発明の名称: (EN) VACUUM PROCESSING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT PAR ASPIRATION
(JA) 真空処理装置
要約: front page image
(EN)[PROBLEMS] To provide a vacuum processing apparatus applicable to various manufacturing processes, by efficiently and highly reliably stacking films of various types and thicknesses and by downsizing the manufacturing apparatus by suppressing size increase of the apparatus due to increase of the number of film forming chambers caused by increase and complexity of process steps. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A vacuum processing apparatus is provided with a plurality of film forming process parts (10, 20), which are provided with rotating transfer tables (15, 25) and film forming chambers (12, 22). The rotating transfer tables form a transfer path for a work to be processed, in chambers (11, 21) which can be vacuum-exhausted. The film forming chambers are provided for depositing a film on the work to be processed which is arranged and transferred along a circumference which has a rotating shaft of the rotating transfer table as a center. The vacuum processing apparatus is also provided with a connecting part (30), which connects the film forming process parts so as to share a vacuum space between the chambers, and the work to be processed in the film forming process parts is mutually transferred in the vacuum. A load lock mechanism (14) is provided in one of the film forming process part or in the connecting part.
(FR)[PROBLEMES] Fournir un appareil de traitement par aspiration applicable à divers procédés de fabrication, en empilant de manière efficace et hautement fiable des films de divers types et épaisseurs, et en réduisant la taille des appareils de fabrication en évitant les encombrements supplémentaires liés à l’accroissement du nombre de chambres de formation de film résultant de l’augmentation et de la complexité des phases de traitement. [MOYENS POUR RESOUDRE DES PROBLEMES] Il est prévu un appareil de traitement par aspiration muni d’une pluralité de pièces de traitement de formation de film (10, 20), équipés de tables de transfert rotatives (15, 25) et de chambres de formation de film (12, 22). Les tables de transfert rotatives forment un itinéraire de transfert pour traiter une pièce d’usinage dans les chambres (11, 21) dans lesquelles on peut faire le vide. Les chambres de formation de film sont prévues pour déposer un film sur la pièce à traiter qui est disposée et transférée le long d’une circonférence dont l’arbre rotatif de la table de transfert rotative fait office de centre. L’appareil de traitement par aspiration est également doté d’une pièce de connexion (30), reliant les pièces de traitement de formation de film de façon à partager un espace vide entre les chambres, et la pièce à traiter dans les pièces de traitement de formation de film est transférée de manière réciproque dans le vide ainsi créé. Un mécanisme à verrouillage de charge (14) est prévu dans la pièce de traitement de formation de film ou dans la pièce de connexion.
(JA) 【課題】さまざまな種類、厚さの膜を効率よくかつ信頼性高く積層すること、処理工程の増加、複雑化にともなう成膜室数の増加によって装置が大型になるのを抑えて製造装置の小型化をはかること、これにより多様な生産工程に対応可能な真空処理装置を得る。 【解決手段】 真空に排気可能なチャンバ11、21内に被処理物の搬送路を形成する回転搬送テーブル15、25と、回転搬送テーブルの回転軸を中心とする円周に沿って配置され搬送される前記被処理物に膜を堆積する成膜室12、22とを備える成膜処理部10,20を複数個、備えており、これらの成膜処理部をチャンバ間の真空空間を共通にするように連結して成膜処理部間で処理される被処理物を真空中で相互に受け渡す連結部30を有しており、成膜処理部のいずれか、または連結部にロードロック機構14を設ける。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)