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World Intellectual Property Organization
1. (WO2005103734) シート状プローブおよびその製造方法並びにその応用

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/103734    国際出願番号:    PCT/JP2005/007939
国際公開日: 03.11.2005 国際出願日: 26.04.2005
G01R 1/06 (2006.01), G01R 31/26 (2006.01), H01L 21/06 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
出願人: JSR CORPORATION [JP/JP]; 6-10, Tsukiji 5-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040045 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SATO, Katsumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
INOUE, Kazuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
FUJIYAMA, Hitoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YOSHIOKA, Mutsuhiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IGARASHI, Hisao [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SATO, Katsumi; (JP).
INOUE, Kazuo; (JP).
FUJIYAMA, Hitoshi; (JP).
YOSHIOKA, Mutsuhiko; (JP).
代理人: SUZUKI, Shunichiro; S.SUZUKI & ASSOCIATES, Gotanda Yamazaki Bldg. 6F, 13-6, Nishigotanda 7-chome, Shinagawa-ku Tokyo 1410031 (JP)
2004-132151 27.04.2004 JP
(JA) シート状プローブおよびその製造方法並びにその応用
要約: front page image
(EN)[PROBLEMS] A sheet-like probe and a method of producing the probe, where the probe can achieve stable connection even for a circuit device having small electrodes with fine intervals, where electrode structure bodies do not come out from an insulation film and achieve high durability, and where, in a burn-in test for a wafer having a large area and for a circuit device having to-be-inspected electrodes with small intervals, positional displacement, caused by temperature variation, between the electrode structure bodies and the to-be-inspected electrode can be reliably prevented so that excellent connection condition is stably maintained. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A sheet-like probe having an insulation layer and having a contact film provided with electrode structure bodies that are arranged on the insulation layer so as to be apart from each other in the surface direction of the insulation layer and penetratingly extend in the thickness direction of the insulation layer. The electrode structure bodies each are composed of a surface electrode section that is exposed to the front surface of the insulation layer, projects from the front surface of the insulation layer, and has a shape whose diameter is reduced from its base end toward its head, a back surface electrode section that is exposed to the back surface of the insulation layer, and a short-circuit section that extends from the base end of the front surface electrode section, penetrates the insulation layer in its thickness direction, and is connected to the back surface electrode direction. The diameter of the base end of the front surface electrode section is greater than the diameter of that end of the short-circuit section which is in contact with front surface electrode section, and the thickness of the short-circuit section is greater than the thickness of the insulation section.
(FR)[PROBLEMES] Fournir une sonde en forme de feuille et un procédé de fabrication de ladite sonde, tandis que la sonde peut atteindre une connexion stable même pour un dispositif à circuit possédant de petites électrodes finement espacées, où les corps de structure d'électrode ne sortent pas d’un film isolant et atteignent une longue durée de vie, et où, lors d’un essai de vieillissement artificiel d’une plaquette de grande superficie et pour un dispositif à circuit ayant des électrodes à examiner finement espacées, on peut empêcher en toute fiabilité le déplacement provoqué par une variation de température entre les corps de structure d'électrode et l’électrode à examiner de manière à conserver d’excellentes conditions de connexion. [MOYENS POUR RESOUDRE LES PROBLEMES] Il est prévu une sonde en forme de feuille ayant une couche isolante et ayant un film de contact pourvu de corps de structure d'électrode disposés sur la couche isolante, pour se trouver écartés l'un de l'autre dans la direction superficielle de la couche isolante et s’ étendre de manière pénétrante dans la direction d'épaisseur de la couche isolante. Les corps de structure d'électrode sont chacun constitués d’une partie électrode de surface exposée à la surface avant de la couche isolante et saillant de la surface avant de la couche isolante, et de forme dont le diamètre est réduit de son extrémité de base vers la tête, et une section d’électrode de surface arrière exposée à la surface arrière de la couche isolante, et une partie de court-circuit s'étendant en continu à partir de l’extrémité de base de la section d’électrode de surface avant, pénétrant la couche isolante dans son épaisseur, et connectée à la partie électrode de surface arrière. Le diamètre de l’extrémité de base de l’électrode de surface est supérieur au diamètre de cette extrémité de la partie de court-circuit qui est en contact avec la partie d'électrode de surface avant et l'épaisseur de la partie de court-circuit est supérieure à l'épaisseur de la couche isolante.
(JA)  [課題] 微小で微細ピッチな電極を有する回路装置にも安定な接続状態が達成され、電極構造体が絶縁膜から脱落せず高い耐久性が得られ、大面積のウエハや被検査電極のピッチが小さい回路装置に対し、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれが確実に防止され、良好な接続状態が安定に維持されるシート状プローブおよびその製造方法を提供する。  [解決手段] 絶縁層と、この絶縁層にその面方向に互いに離間して配置された、前記絶縁層の厚み方向に貫通して伸びる複数の電極構造体を備えた接点膜を有するシート状プローブであって、電極構造体の各々は、絶縁層の表面に露出し、絶縁層の表面から突出し、その基端から先端に向かうに従って小径となる形状の表面電極部と、絶縁層の裏面に露出する裏面電極部と、表面電極部の基端から連続して前記絶縁層をその厚み方向に貫通して伸び、裏面電極部に連結された短絡部とよりなり、表面電極部の基端の径が、短絡部の表面電極部と接する側の端の径よりも大きく、短絡部の厚みが、前記絶縁層の厚みより大きいことを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)