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1. (WO2005103343) 圧電性酸化物単結晶の帯電抑制処理方法、および帯電抑制処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/103343    国際出願番号:    PCT/JP2005/008474
国際公開日: 03.11.2005 国際出願日: 27.04.2005
IPC:
C30B 29/30 (2006.01), C30B 33/02 (2006.01)
出願人: YAMAJU CERAMICS CO., LTD [JP/JP]; 1123, Tsunoda, Sango-cho, Owariasahi City, Aichi 4880012 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HOTTA, Kazutoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KANNO, Kazuya [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MIYAGAWA, Daisaku [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KURACHI, Masato [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SASAMATA, Takeji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SAHASHI, Ietaka [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HOTTA, Kazutoshi; (JP).
KANNO, Kazuya; (JP).
MIYAGAWA, Daisaku; (JP).
KURACHI, Masato; (JP).
SASAMATA, Takeji; (JP).
SAHASHI, Ietaka; (JP)
代理人: OHKAWA, Hiroshi; 2-5, Meieki 3-chome, Nakamura-ku, Nagoya-shi, Aichi 4500002 (JP)
優先権情報:
2004-131733 27.04.2004 JP
発明の名称: (EN) ELECTROSTATIC CHARGE CONTROLLING PROCESS FOR PIEZOELECTRIC OXIDE SINGLE CRYSTAL AND APPARATUS FOR ELECTROSTATIC CHARGE CONTROLLING PROCESS
(FR) PROCESSUS DE CONTRÔLE DE CHARGE ÉLECTROSTATIQUE POUR LE MONOCRISTAL D’OXYDE PIÉZOÉLECTRIQUE ET APPAREIL POUR LE PROCESSUS DE CONTRÔLE DES CHARGE ÉLECTROSTATIQUE
(JA) 圧電性酸化物単結晶の帯電抑制処理方法、および帯電抑制処理装置
要約: front page image
(EN)Disclosed is a process for suppressing the electrostatic charge of a lithium tantalate single crystal or a lithium niobate single crystal without deteriorating the piezoelectricity thereof. Also disclosed is an apparatus for easily performing such a process. The process is characterized in that a wafer (50) made from a lithium tantalate single crystal or a lithium niobate single crystal and a reducing agent (60) containing an alkali metal compound are placed in a process chamber (2) and the wafer (50) is reduced by maintaining the inside of the process chamber (2) at a temperature not less than 200˚C and not more than 1,000˚C under a reduced pressure.
(FR)Est décrit un processus de suppression de la charge électrostatique d’un monocristal de tantalate de lithium ou d’un monocristal de niobate de lithium sans détériorer la piézoélectricité de celui-ci. Est également décrit un appareil pour effectuer facilement ce processus. Le processus est caractérisé en ce qu’une tranche (50) constituée d’un monocristal de tantalate de lithium ou d’un monocristal de niobate de lithium et un agent réducteur (60) contenant un composé de métal alcalin sont placés dans une chambre de traitement (2) et la tranche (50) est réduite en maintenant l’intérieur de la chambre de traitement (2) à une température supérieure à 200 °C et inférieure à 1000 °C sous une pression réduite.
(JA)圧電性を損なうことなく、タンタル酸リチウム単結晶およびニオブ酸リチウム単結晶の帯電を抑制することのできる処理方法を提供する。また、その処理方法を簡便に実施できる処理装置を提供する。タンタル酸リチウム単結晶またはニオブ酸リチウム単結晶から作製されたウエーハ50と、アルカリ金属化合物を含む還元剤60と、を処理容器2に収容し、処理容器2内を減圧下、200℃以上1000℃以下の温度に保持することにより、ウエーハ50を還元することを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)