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1. (WO2005103326) 炭素膜

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/103326    国際出願番号:    PCT/JP2005/007342
国際公開日: 03.11.2005 国際出願日: 15.04.2005
C01B 31/02 (2006.01), C23C 16/27 (2006.01)
出願人: NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY [JP/JP]; 3-1, Kasumigaseki 1-chome, Chiyoda-ku Tokyo 1008921 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KOGA, Yoshinori [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HASEGAWA, Masataka [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IIJIMA, Sumio [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TSUGAWA, Kazuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ISHIHARA, Masatou [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KOGA, Yoshinori; (JP).
HASEGAWA, Masataka; (JP).
IIJIMA, Sumio; (JP).
TSUGAWA, Kazuo; (JP).
ISHIHARA, Masatou; (JP)
2004-123169 19.04.2004 JP
(JA) 炭素膜
要約: front page image
(EN)[PROBLEMS] A carbon film which has optical characteristics of retaining a high transparency and being high in refractive index and small in double refractivity, is excellent in electric insulating performance, can be applied to various base materials with good adhesiveness, and can be formed at low temperature, a laminate, and their applications. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A carbon film which has an approximate spectrum curve obtained by superimposing, on a peak fitting curve A at a Bragg angle (2&thetas;±0.3°) of 43.9° at an X-ray diffraction spectrum by CuKa1 line, a peak fitting curve B at 41.7° and a base line, and has a film thickness of 2 nm-100 μm. The intensity of the fitting curve B is preferably 5-90% of that of the fitting curve A at the above approximate spectrum. In the carbon film, Raman shift has a peak at 1333±10 cm-1 at Raman scattering spectral spectrum, and the half width of that peak is 10-40 cm-1. A laminate comprising a carbon aggregate film that is formed by aggregating carbon particles consisting of the above approximate spectrum curve and is provided to be 2 nm-100 μm thick on a base material. An optical device, an optical glass, a wrist watch, an electronic circuit-use substrate, or a grinding tool provided with the laminate.
(FR)[PROBLEMES] Fournir un film de carbone aux caractéristiques optiques de rétention d’une forte transparence, avec un indice de réfraction élevé et une faible double réfractivité, ayant d’excellentes performances d’isolation électrique, applicable à divers matériaux de base avec une bonne adhérence et pouvant être fabriqué à basse température, un produit stratifié et leurs applications. [MOYENS POUR RESOUDRE LES PROBLEMES] Il est prévu un film de carbone ayant une courbe de spectre approximative obtenue par superposition, sur une courbe d’intégration des pics A à un angle de Bragg (2&thetas;±0,3°) de 43,9° à un spectre de diffraction des rayons X par ligne CuKa1, une courbe d'intégration des pics B à 41,7° et une ligne de référence, avec une épaisseur de film comprise entre 2 nm et 100 µm. L’intensité de la courbe d'intégration B est de préférence comprise entre 5 et 90 % de celle de la courbe d'intégration A dans le spectre approximatif ci-dessus. Dans le film de carbone, le décalage Raman a une pointe à 1333±10 cm-1 dans le spectre de diffusion de Raman, et la moitié de largeur de cette pointe est comprise entre 10 et 40 cm-1. Un produit stratifié comprenant un film d’agrégat de carbone formé par agrégation de particules de carbone constituées de la courbe spectrale approximative ci-dessus a une épaisseur comprise entre 2 nm et 100 µm sur un matériau de base. Il est prévu un dispositif optique, un verre optique, une montre bracelet, un substrat pour circuit électronique ou un outil de meulage pourvu du produit stratifié.
(JA)【課題】 高い透明度を保持し、屈折率が高く、複屈折性が小さいという光学的な特性を有し、電気的絶縁性に優れ、各種基材に密着性良くコーティングでき、かつ低温での形成が可能な炭素膜、積層体、及びそれらの用途を提供する。 【解決手段】 炭素膜は、Cu Ka1線によるX線回折スペクトルにおいて、ブラッグ角(2θ±0.3 °)の43.9 °のピークフィッティング曲線Aに41.7°のピークフィッティング曲線Bおよびベースラインを重畳して得られる近似スペクトル曲線を有し、かつ膜厚2 nm~100 μmからなるものである。その前記近似スペクトルにおいて、フィッティング曲線Aの強度に対するフィッティング曲線Bの強度が5~90 %であることが好ましい。その炭素膜は、ラマン散乱分光スペクトルにおいて、ラマンシフトが1333±10cm-1にピークを有し、かつそのピークの半値幅が10~40cm-1である。また積層体は、上記した近似スペクトル曲線からなる炭素粒子を集合してなる炭素集合膜を基材上に厚さ2 nm~100 μm設けてなるものである。これらの積層体を備えた光デバイス、光学ガラス、腕時計、電子回路用基板または研磨用工具である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)