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1. WO2005091006 - 複数種のテスタに対応可能なプローブ装置

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公開番号 WO/2005/091006
公開日 29.09.2005
国際出願番号 PCT/JP2005/004698
国際出願日 16.03.2005
IPC
G01R 1/06 2006.1
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
1グループG01R5/00~G01R13/00またはG01R31/00に包含される型の機器または装置の細部
02一般的な構造の細部
06測定用導線;測定用探針
G01R 1/073 2006.1
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
1グループG01R5/00~G01R13/00またはG01R31/00に包含される型の機器または装置の細部
02一般的な構造の細部
06測定用導線;測定用探針
067測定用探針
073複合探針
G01R 31/28 2006.1
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
28電子回路の試験,例.シグナルトレーサーによるもの
H01L 21/66 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66製造または処理中の試験または測定
CPC
G01R 1/07342
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
1Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
02General constructional details
06Measuring leads; Measuring probes
067Measuring probes
073Multiple probes
07307with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
07342the body of the probe being at an angle other than perpendicular to test object, e.g. probe card
G01R 31/2889
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
2851Testing of integrated circuits [IC]
2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
2889Interfaces, e.g. between probe and tester
H01L 22/00
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
22Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
出願人
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 野口 政幸 NOGUCHI, Masayuki [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 野口 政幸 NOGUCHI, Masayuki
代理人
  • 鈴江 武彦 SUZUYE, Takehiko
優先権情報
2004-07951019.03.2004JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PROBE DEVICE CAPABLE OF BEING USED FOR PLURAL KINDS OF TESTERS
(FR) DISPOSITIF DE SONDE POUVANT ÊTRE UTILISÉ DANS PLUSIEURS TYPES DE TESTEURS
(JA) 複数種のテスタに対応可能なプローブ装置
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要約
(EN) A probe device (10) has an insert ring (14) and a base card holder (13) that match a pogo ring (15) and probe card (17) for plural kinds of testers. The base card holder (13) is formed to have a larger diameter than a card holder (20) for the probe card (17). A conversion ring (16) links the connection between the card holder (20) and the base card holder (13).
(FR) Un dispositif de sonde (10) a un anneau d’insertion (14) et un porte-carte de base (13) qui s’adapte à un anneau POGO (15) et une carte à sonde (17) pour plusieurs types de testeurs. Le porte-carte de base (13) est formé de sorte à avoir un plus grand diamètre qu’un porte-carte (20) pour la carte à sonde (17). Un anneau de conversion (16) fait la connexion entre le porte carte (20) et le porte carte de base (13).
(JA) 　本発明の実施形態のプローブ装置１０は、複数種のテスタ用のポゴリング１５及びプローブカード１７に対応したインサートリング１４、ベースカードホルダ１３を備える。ベースカードホルダ１３は、プローブカード１７用のカードホルダ２０より大径に形成される。変換リング１６は、カードホルダ２０とベースカードホルダ１３との接続を中継する。
関連特許文献
JP2005265658
EP1736787
CN1906496
KR1020060130660
US20070007979
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