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1. (WO2005089031) プラズマ生成装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/089031    国際出願番号:    PCT/JP2005/002477
国際公開日: 22.09.2005 国際出願日: 17.02.2005
IPC:
C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/32 (2006.01), H05H 1/50 (2006.01)
出願人: TAKIKAWA, Hirofumi [JP/JP]; (JP).
FERRPTEC CORPORATION [JP/JP]; 4-14, Kyobashi 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040031 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SHIINA, Yuichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TAKIKAWA, Hirofumi; (JP).
SHIINA, Yuichi; (JP)
代理人: MIKI, Hisami; Haim-Senba 303 3-8, Kyutaromachi 2-chome, Chuo-ku Osaka-city, Osaka 5410056 (JP)
優先権情報:
2004-075091 16.03.2004 JP
発明の名称: (EN) PLASMA GENERATOR
(FR) GÉNÉRATEUR DE PLASMA
(JA) プラズマ生成装置
要約: front page image
(EN)A plasma generator capable of performing intermittent operation of repeating a sequence operation including start, sustaining, and stop of a cathode arc plasma for a long time. The plasma generator for forming a thin film comprises a cathode (4) for supplying constituent particles of an arc plasma and a trigger-cum-anode (6) for starting and sustaining the arc plasma. The cathode surface (4a) of the cathode (4) is flat or finely irregular, and the anode surface (6c) of the trigger-cum-anode (6) brought into contact with the cathode surface (4a) is flat. The anode surface (6c) is so arranged as to be brought into contact with the whole cathode surface (4a) when a plasma is started. The contact point between a fine projection end (4b) of the cathode surface (4a) and the anode surface (6c) is made a plasma emission point. When the projection is consumed by plasma emission, another projection end which can be brought into contact with the anode surface (6c) is used as another plasma emission point, thus enabling intermittent operation of persistently repeating the sequence operation. Consequently, a stable plasma can be produced for a long time.
(FR)Il est prévu un générateur de plasma capable de réaliser une opération intermittente de répétition d’une exploitation séquentielle englobant le départ, le maintien et l’arrêt d’un plasma en arc de cathode sur une longue période. Le générateur de plasma pour former un mince film comprend une cathode (4) pour fournir les particules constitutives d’un plasma en arc et une anode de déclenchement (6) pour démarrer et maintenir le plasma en arc. La surface de cathode (4a) de la cathode (4) est plate et finement irrégulière, et la surface d’anode (6c) de l’anode de déclenchement (6) amenée au contact de la surface de cathode (4a) est plate. La surface d’anode (6c) est disposée pour venir au contact de toute la surface de cathode (4a) au départ d’un plasma. Le point de contact entre une extrémité de projection (4b) de la surface de cathode (4a) et la surface d’anode (6c) consiste en un point d’émission de plasma. Lorsque la projection est consumée par émission de plasma, une autre extrémité de projection que l’on peut mettre au contact de la surface d’anode (6c) s’utilise comme autre point d’émission de plasma, permettant ainsi l’opération intermittente de répétition persistante de l’exploitation séquentielle. En conséquence, on peut produire un plasma stable sur une longue période.
(JA) 陰極アークプラズマの起動・維持・停止などのシーケンス操作を繰り返す断続稼働を長期間行うことができるプラズマ発生装置を実現する。  本発明に係る薄膜生成用プラズマ生成装置は、アークプラズマの構成粒子を供給する陰極4とアークプラズマの起動及び維持用のトリガー兼陽極6が配置されている。前記陰極4の陰極面4aは平坦又は微細な凹凸形状を有し、前記陰極面4aと接触するトリガー兼陽極6の陽極面6cは平坦な表面を有している。プラズマ起動時に前記陽極面6cが陰極面4aの全面に当接するように配置され、前記陰極面4aの微細な凸部先端4bと前記陽極面6cの接触点をプラズマ放出点とし、プラズマの放出により凸部が消耗した場合、陽極面6cと接触可能な他の凸部先端を新たなプラズマ放出点とし、前記シーケンス操作を持続的に繰り返す断続稼働をする場合に、安定したプラズマを長期間生成できる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)