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1. (WO2005088142) 基板収納容器
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/088142    国際出願番号:    PCT/JP2005/004095
国際公開日: 22.09.2005 国際出願日: 09.03.2005
IPC:
B65D 85/86 (2006.01), F16B 39/24 (2006.01), F16B 39/282 (2006.01), F16B 43/00 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
出願人: SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD. [JP/JP]; 3-5, Nihonbashihoncho 4-chome Chuo-ku, Tokyo 1030023 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TODA, Junya [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAKAYAMA, Takayuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TODA, Junya; (JP).
NAKAYAMA, Takayuki; (JP)
代理人: FUJII, Koichi; 4th Floor, Kawamura Building 4-4, Toranomon 1-chome Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
優先権情報:
2004-070470 12.03.2004 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE STORING CONTAINER
(FR) RECEPTACLE DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
要約: front page image
(EN)A substrate storing container is provided to safely transport, fix and store a substrate, not loosening a threaded member even with a load applied on an attaching member of the substrate storing container and in a heating process for cleaning and drying the substrate storing container, at the time of transporting the substrate by storing it and fixing the substrate to substrate processing equipment. The substrate storing container is composed of a container main body (1) and a cover (2). For fastening the attaching member (6), such as a side plate to be attached to the substrate storing container for transportation and a bottom plate for positioning on the substrate processing equipment, by using the threaded member (3), a loosening preventing means is provided between the threaded member (3) and an engaging plane of the attaching member (6) so as to prevent the threaded member (3) from loosening.
(FR)Un réceptacle de stockage de substrat est prévu pour le transport, la fixation et le stockage sûrs d’un substrat, sans desserrer un élément fileté, même lorsqu’une charge est appliquée sur un élément d’attache du réceptacle de stockage de substrat et lors d’un traitement thermique pour nettoyer et sécher le réceptacle de stockage de substrat, lors du transport du substrat en le stockant et en fixant le substrat sur un équipement de traitement de substrat. Le réceptacle de stockage de substrat est composé d’un corps principal de réceptacle (1) et d’un couvercle (2). Pour assujettir l’élément d’attache (6), comme une plaque latérale à attacher sur le réceptacle de stockage de substrat en vue de son transport et une plaque de base pour la mise en place sur l’équipement de traitement de substrat, à l’aide d’un élément fileté (3), un moyen anti-desserrage est prévu entre l’élément fileté (3) et un plan de prise de l’élément d’attache (6) de manière à empêcher le desserrage de l’élément fileté (3).
(JA) 基板を収納して搬送したり、基板加工装置へ固定したりする際に、基板収納容器の取付部材にかかる負荷や、基板収納容器の洗浄乾燥時の加熱処理によっても、螺刻部材の緩むことがない、基板を安全に搬送、固定、保管することができる基板収納容器を提供する。容器本体(1)と蓋体(2)とからなる基板収納容器に取り付けられる搬送用のサイドプレートや基板加工装置への位置決め用のボトムプレート等の取付部材(6)を螺刻部材(3)によって締着するに際して、螺刻部材(3)と取付部材(6)の係合面の間に、螺刻部材(3)が緩むのを防止する緩み防止手段を介在させている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)