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1. (WO2005087970) 真空蒸着装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2005/087970 国際出願番号: PCT/JP2005/003174
国際公開日: 22.09.2005 国際出願日: 25.02.2005
IPC:
C23C 14/24 (2006.01)
出願人: TANAKA, Hisato[JP/JP]; JP (UsOnly)
ULVAC, INC.[JP/JP]; 2500 Hagisono Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP (AllExceptUS)
発明者: TANAKA, Hisato; JP
代理人: IISAKA, Yasuo; Utoku-Building 6-85, Benten-dori Naka-ku, Yokohama-shi Kanagawa 231-0007, JP
優先権情報:
2004-07099312.03.2004JP
発明の名称: (EN) VACUUM DEPOSITION APPARATUS
(FR) APPAREIL DE DEPOT SOUS VIDE
(JA) 真空蒸着装置
要約: front page image
(EN) A vacuum deposition apparatus having an evaporation source drive mechanism capable of reducing the occurrence of particles in a vacuum chamber and coping with the arrangement of multiple evaporation sources. The vacuum deposition apparatus comprises a hollow shaft (5) closed at one end (5a) and opening at the other end (5b) and a moving mechanism inserting the closed end (5a) of the hollow shaft (5) to the inside (2) of the vacuum chamber and moving the hollow shaft (5) in the axial direction. The evaporation source (4) is fitted to the closed end (5a) side of the hollow shaft (5) and allows a supply system (7) for power and cooling water led into the evaporation source (4) to be provided through the inside of the hollow shaft (5), and the moving mechanism is installed on the outside of the vacuum chamber.
(FR) Appareil de dépôt sous vide comportant un mécanisme d’entraînement de source d’évaporation capable de réduire l’apparition de particules dans une chambre à vide et de s’adapter à la mise en place de sources d’évaporation multiples. L’appareil de dépôt sous vide comprend un arbre creux (5) fermé à une extrémité (5a) et ouvert à l’autre extrémité (5b) et un mécanisme de déplacement insérant l’extrémité fermée (5a) de l’arbre creux (5) à l’intérieur (2) de la chambre à vide et déplaçant l’arbre creux (5) dans la direction axiale. La source d’évaporation est montée sur l’extrémité fermée (5a) de l’arbre creux (5) et permet le passage d’un système d’alimentation (7) en énergie et en eau de refroidissement amené dans la source d’évaporation (4) à travers l’intérieur de l’arbre creux (5), et le mécanisme de déplacement est installé sur l’extérieur de la chambre à vide.
(JA) チャンバ内におけるパーティクルの発生を低減でき、蒸発源の複数配置にも対応することができる蒸発源駆動機構を備えた真空蒸着装置を提供する。  一端5aが閉塞し他端5bが開放する中空軸5と、この中空軸5の閉塞端5aを真空チャンバの内部2に挿通し中空軸5を軸方向に移動させる移動機構とを有し、蒸発源4は、中空軸5の閉塞端5a側に取り付けられ、蒸発源4に導入される電力及び冷却水の供給系統7を中空軸5の内部を介して供給すると共に、移動機構は、真空チャンバの外部に設ける。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)