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1. (WO2005086209) 光学素子、投影光学系及び露光装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/086209    国際出願番号:    PCT/JP2005/003970
国際公開日: 15.09.2005 国際出願日: 08.03.2005
IPC:
G02B 5/10 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), G21K 1/06 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SHIRAISHI, Masayuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SHIRAISHI, Masayuki; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 2-3-1, Yaesu, Chuo-ku, Tokyo 1048453 (JP)
優先権情報:
2004-065846 09.03.2004 JP
発明の名称: (EN) OPTICAL ELEMENT, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND EXPOSURE DEVICE
(FR) ELEMENT OPTIQUE; SYSTEME DE PROJECTION OPTIQUE ET DISPOSITIF D'EXPOSITION
(JA) 光学素子、投影光学系及び露光装置
要約: front page image
(EN)An optical element enabling the coexistence of a reduction in the wave front aberration thereof resulting from its shape error and the suppression of the deterioration of the wave front thereof resulting from its deterioration with age, comprising a reflector (2) reflecting illumination light on a specified surface (21). The optical element also comprises a reflector deformation means (3 to 5) deforming the reflector (2) by applying a force, by a magnetic force, to the non-reflection plane (22) of the reflector (2). The reflector deformation means (3 to 5) further comprises a magnetic body thin-film (3) formed on the non-reflection plane (22) of the reflector (2), a plurality of electromagnets (4) disposed oppositely to the magnetic body thin-film (3), and a drive means (5) driving the electromagnets (4).
(FR)Un élément optique permettant la coexistence d'une réduction dans l'aberration de front d'onde résultant de son erreur de forme et la suppression de la détérioration du front d'onde résultant de sa détérioration du à l'âge, comprenant un réflecteur (2) réfléchissant la lumière d'illumination sur une surface spécifiée (21). L'élément optique comprend également des moyens de déformation de réflecteur (3 to 5) déformant le réflecteur (2) par application d'une force, par une force magnétique, au plan de non réflexion (22) du réflecteur (2). Le moyen de déflexion de réflecteur (3 to 5) comprend entre autres une fine couche de corps magnétique (3) formé sur le plan de non réflexion (22) du réflecteur (2), une pluralité d'électroaimants (4) disposés à l'opposé de la fine couche de corps magnétique (3), et un moyen d'entraînement (5) entraînant les électroaimants (4).
(JA) 光学素子の形状誤差に起因する波面収差の低減と経時変化に起因する波面の劣化の抑止とを両立する。所定表面(21)において照明光を反射する反射鏡2を備える光学素子であって、上記反射鏡(2)の非反射面(22)に対して磁力を用いて力を加えることによって上記反射鏡(2)を変形させる反射鏡変形手段(3~5)を備え、反射鏡変形手段(3~5)が、上記反射鏡(2)の非反射面(22)上に形成される磁性体薄膜(3)と、該磁性体薄膜(3)と対向配置される複数の電磁石(4)と、該電磁石(4)を駆動する駆動手段(5)とを備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)