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1. (WO2005085938) 基板の検査方法、アレイ基板の検査方法、及びアレイ基板の検査装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/085938    国際出願番号:    PCT/JP2005/002815
国際公開日: 15.09.2005 国際出願日: 22.02.2005
IPC:
G01R 31/28 (2006.01), G02F 1/13 (2006.01), G02F 1/1368 (2006.01), G09F 9/30 (2006.01)
出願人: Toshiba Matsushita Display Technology Co., Ltd. [JP/JP]; 1-8, Konan 4-chome, Minato-ku, Tokyo 1080075 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TOMITA, Satoru [JP/JP]; (米国のみ)
発明者: TOMITA, Satoru;
代理人: SUZUYE, Takehiko; c/o SUZUYE & SUZUYE 1-12-9, Toranomon Minato-ku, Tokyo 105-0001 (JP)
優先権情報:
2004-062654 05.03.2004 JP
発明の名称: (EN) BOARD INSPECTING METHOD, ARRAY BOARD INSPECTING METHOD AND ARRAY BOARD INSPECTING EQUIPMENT
(FR) PROCEDE D’INSPECTION DE CARTE, PROCEDE D’INSPECTION DE CARTE MATRICIELLE ET EQUIPEMENT D’INSPECTION DE CARTE MATRICIELLE
(JA) 基板の検査方法、アレイ基板の検査方法、及びアレイ基板の検査装置
要約: front page image
(EN)In each of a plurality of regions on a mother board (100), array board parts (101a to 101f) which include pixel regions (30a to 30f) are formed. In the pixel region in each array board part, a plurality of scanning lines and a plurality of signal lines are formed to cross, and a pixel part is formed in the vicinity of respective crossing parts. In a method for inspecting the pixel part by storing the whole mother board in a vacuum chamber and inspecting the pixel part with an electronic beam tester, an area to be irradiated with beams by electronic beam scanning of an electronic beam scanner is set to span the parts of a plurality of the array board parts (101a to 101f) or to cover the entire array board parts at the same time, and inspection information of the pixel part of each array board part within the irradiation area is obtained.
(FR)Dans chacune d’une pluralité de régions d’une carte mère (100), des parties de carte matricielle (101a à 101f) comportant des régions de pixels (30a to 30f) sont formées. Dans la région de pixels dans chaque partie de carte matricielle, une pluralité de lignes de balayage et une pluralité de lignes de signal sont formées pour se croiser, et une partie de pixels est formée au voisinage de parties de croisement respectives. Dans un procédé d’inspection de la partie de pixels par mise en place d’une carte mère complète dans une enceinte à vide et inspection de la partie de pixels à l’aide d’un appareil de contrôle à faisceaux électroniques, une zone à irradier par des faisceaux par balayage de faisceaux d’un appareil de balayage à faisceaux électroniques est définie de façon à couvrir les parties d’une pluralité des parties de carte matricielle (101a à 101f) ou pour couvrir simultanément la totalité des parties de carte matricielle, et des informations d’inspection de la partie de pixels de chaque partie de carte matricielle au sein de la zone d’irradiation sont obtenues.
(JA) マザー基板(100)上の複数の領域にはそれぞれ画素領域(30aないし30f)を含むアレイ基板部(101aないし101f)が形成されている。各アレイ基板部内の画素領域では、複数の走査線と複数の信号線とが交差して形成され、これら複数の走査線と複数の信号線との交差部近傍にそれぞれ画素部が形成されている。マザー基板全体を真空チャンバーに収容し、電子ビームテスタを用いて画素部の検査を行う検査方法において、電子ビーム走査器による電子ビーム走査でビーム照射される照射範囲が、複数のアレイ基板部(101aないし101f)の一部を跨いだ又は全部を同時にカバーした状態に設定し、その照射範囲に属する各アレイ基板部の画素部の検査情報を取得する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)