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1. (WO2005085495) 成膜方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/085495    国際出願番号:    PCT/JP2005/003340
国際公開日: 15.09.2005 国際出願日: 28.02.2005
予備審査請求日:    30.09.2005    
IPC:
C23C 16/455 (2006.01), H01L 21/28 (2006.01), H01L 21/285 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YOSHII, Naoki [JP/JP]; (米国のみ).
KOJIMA, Yasuhiko [JP/JP]; (米国のみ)
発明者: YOSHII, Naoki; .
KOJIMA, Yasuhiko;
代理人: SUZUYE, Takehiko; c/o SUZUYE & SUZUYE 1-12-9, Toranomon Minato-ku, Tokyo 105-0001 (JP)
優先権情報:
2004-058449 03.03.2004 JP
発明の名称: (EN) FILM FORMING METHOD
(FR) PROCEDE DE FORMATION DE FILM
(JA) 成膜方法
要約: front page image
(EN)A film forming method is provided for forming a thin film including a metal on a substrate by alternately supplying the substrate with a film forming material including the metal and a reducing gas. At least a part of the film forming material is dissociated or decomposed in vapor phase by plasma and supplied onto the substrate.
(FR)L'invention concerne un procédé de formation d'un film mince comprenant un métal sur un substrat, par application alternée d'un matériau filmogène comprenant le métal et d'un gaz réducteur sur le substrat. Au moins une partie du matériau filmogène est dissociée ou décomposée en phase vapeur par plasma et appliquée sur le substrat.
(JA) 金属を含む成膜原料と、還元性ガスを基板に交互供給することで前記基板上に金属を含む薄膜を形成する成膜方法であって、前記成膜原料の少なくとも一部をプラズマにより気相中において解離または分解させて基板上へ供給する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)