(EN) A device for measuring the comparatively-large-range three-dimensional shape of an object of measuring in a short time without contacting. When a light shone onto an object of measuring s from a light source is reflected off a certain point on the surface of the object s, a high-order diffraction light is generated in addition to a direct-reflection light (zero-order light). The zero-order light is guided to the movable reflection portion of a phase variable filter (20) by a fractional optical system, and the high-order diffraction light to a fixed reflection portion; and they are respectively reflected and then converged to an almost one point by an interference optical system to allow the both to interfere with each other. When the movable reflection portion of the phase variable filter (20) is moved in such a state, the intensity of the interference light at the imaging point of the interference optical system gradually changes. Since the position of the movable reflection portion at the peak point of this interference light depends on the distance between the starting point on the object of measuring s and the movable reflection portion, the starting point position can be calculated from the position of the movable reflection portion at the peak point. Such measurement and calculation are conducted for respective points constituting the image of the object of measuring s to thereby able to measure the three-dimensional shape of the object of measuring s. When an interferogram at each point is Fourier-transformed, analysis at each point is enabled.
(FR) Il est prévu un dispositif de mesure de forme en trois dimensions dans une fourchette comparativement grande d’un objet de mesure en un court laps de temps sans contact. Lorsqu’une lumière projetée sur un objet de mesure s depuis une source lumineuse est réfléchie d’un certain point à la surface de l’objet s, une lumière de diffraction de rang élevé est générée en plus d’une lumière à réflexion directe (lumière d’ordre nul). La lumière d’ordre nul est guidée vers la portion de réflexion mobile d’un filtre variable en phase (20) par un système optique fractionnel, et la lumière de diffraction de rang élevé vers une portion de réflexion fixe ; et elles sont respectivement réfléchies puis convergées en pratiquement un seul point par un système optique à interférence pour permettre aux deux lumières d’interférer l’une avec l’autre. Lorsque la portion de réflexion mobile du filtre variable en phase (20) adopte un tel état, l’intensité de la lumière d’interférence au point d’imagerie du système optique à interférence change progressivement. Comme la position de la portion de réflexion mobile au point de crête de cette lumière d’interférence dépend de la distance entre le point de départ sur l’objet de mesure s et la portion de réflexion mobile, on peut calculer la position de point de départ à partir de la position de la portion de réflexion mobile au point de crête. On réalise une telle mesure et un tel calcul pour des points respectifs constituant l’image de l’objet de mesure s pour ainsi pouvoir mesurer la forme en trois dimensions de l’objet de mesure s. Si un interférogramme à chaque point subit une transformée de Fourier, l’analyse est activée en chaque point.
(JA) 本発明は、被測定物の比較的広い範囲の立体形状を、短時間で、非接触に測定することを目的として成された。光源から被測定物ｓに光を照射すると、被測定物ｓの表面の或る点で反射される際、直接反射光（０次光）の他に高次回折光が生成される。このうち０次光を分別光学系により位相可変フィルタ２０の可動反射部に、高次回折光を固定反射部に導き、それぞれ反射した後、干渉光学系により略１点に収束させて両者を干渉させる。このような状態で、位相可変フィルタ２０の可動反射部を移動させると、干渉光学系の結像点における干渉光の強度が徐々に変化してゆく。この干渉光のピーク点での可動反射部の位置は、被測定物ｓにおける出発点と可動反射部との距離に依存するため、ピーク点での可動反射部の位置より、出発点の位置を算出することができる。このような測定及び計算を被測定物ｓの像を構成する各点について行うことにより、被測定物ｓの立体形状を測定することができる。また、各点でのインターフェログラムをフーリエ変換することにより、各点の分析を行うことができる。
