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1. (WO2005083294) 気体バネ装置、防振装置、ステージ装置及び露光装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/083294    国際出願番号:    PCT/JP2005/003381
国際公開日: 09.09.2005 国際出願日: 01.03.2005
IPC:
F16F 15/027 (2006.01), H01L 21/30 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TATSUZAKI, Yosuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TATSUZAKI, Yosuke; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 2-3-1, Yaesu Chuo-ku, Tokyo 1048453 (JP)
優先権情報:
2004-056195 01.03.2004 JP
発明の名称: (EN) PNEUMATIC SPRING APPARATUS, VIBRATION-PROOF APPARATUS, STAGE APPARATUS AND EXPOSURE APPARATUS
(FR) APPAREIL DE RESSORT PNEUMATIQUE, APPAREIL ANTIVIBRATOIRE, APPAREIL À ÉTAGES ET APPAREIL D'EXPOSITION
(JA) 気体バネ装置、防振装置、ステージ装置及び露光装置
要約: front page image
(EN)A high-performance pneumatic spring apparatus is provided without increasing the sizes of the apparatus. The pneumatic spring apparatuses (KB1-KB4) are provided with gas chambers (AR) filled with a gas at a prescribed pressure. The gas chamber (AR) is provided with an adjustment apparatus (SW) for adjusting a temperature change due to the capacity change of the gas chamber (AR).
(FR)L'invention prévoit un appareil de ressort pneumatique haute performance sans augmentation de ses dimensions. Les appareils de ressort pneumatique (KB1-KB4) sont dotés de chambres à gaz (AR) remplies d'un gaz tenu à une pression prescrite. La chambre à gaz (AR) est dotée d'un appareil de réglage (SW) afin de régler un changement de température dû au changement de capacité de la chambre à gaz (AR).
(JA) 装置を大型化させることなく高性能な気体バネ装置を提供する。気体バネ装置は(KB1~KB4)、所定圧力の気体が充填される気体室(AR)を有する。気体室(AR)に設けられ、気体室(AR)の容積変化に伴う温度変化を調整する調整装置(SW)を備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)