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1. (WO2005078777) 駆動方法、露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/078777    国際出願番号:    PCT/JP2005/002216
国際公開日: 25.08.2005 国際出願日: 15.02.2005
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
MIZUTANI, Takeyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: MIZUTANI, Takeyuki; (JP)
代理人: TATEISHI, Atsuji; TATEISHI & CO. Karakida Center Bldg. 1-53-9, Karakida Tama-shi, Tokyo 206-0035 (JP)
優先権情報:
2004-040683 18.02.2004 JP
発明の名称: (EN) DRIVE METHOD, EXPOSURE METHOD, EXPOSURE DEVICE, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) MÉTHODE DE CONDUITE, MÉTHODE D'EXPOSITION, DISPOSITIF D'EXPOSITION, ET MÉTHODE DE FABRICATION DU DISPOSITIF
(JA) 駆動方法、露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法
要約: front page image
(EN)A stage is moved so that the same target operation is performed when acquiring first shift information (data 1) on a stage in the first state having no liquid immersion region formed on the stage (step 116) and when acquiring second shift information (data 3) on a stage in the second state having no liquid immersion region formed on the stage (step 122). In this case, the difference between the first shift information and the second shift information is information directly reflecting the difference between the first state and the second state. When performing exposure, the stage shift is controlled considering the correction information calculated according to the first shift information and the second shift information (step 126). Accordingly, it is possible to control the stage so that no error attributed to presence/absence of a liquid immersion region on the stage is caused. Thus, it is possible to improve the position control of a moving body.
(FR): Un stade est déplacé de façon que la même opération cible soit effectuée lors de l'acquisition du premier lot de données (données 1) vers un stade de premier état n'ayant pas de région d'immersion de liquide formée sur le stade (phase 116) et lors de l'acquisition du second lot de données (données 3) vers un stade de second état n'ayant pas de région d'immersion de liquide formée sur le stade (phase 122). Dans ce cas, la différence entre les premier et second lots de données est une information reflétant directement la différence entre les premier et second états. Lors d'une exposition, le stade est contrôlé en considérant les données de correction calculées en fonction des données de premier poste et de deuxième poste (phase 126). De cette façon, il est possible de contrôler le stade de façon qu'aucune erreur attribuée à la présence/absence d'une région d'immersion de liquide du stade ne soit provoquée. Ainsi, il est possible d'améliorer le contrôle de position d'un corps en mouvement.
(JA) ステージ上に液浸領域が形成されていない第1の状態のステージの第1移動情報(data1)の取得の際(ステップ116)にも、ステージ上に液浸領域が形成されていない第2の状態のステージの第2移動情報(data3)の取得の際(ステップ122)にも、同じ目標動作が行われるようにステージが移動される。この場合、第1移動情報と第2移動情報との差は、第1の状態と第2の状態との差をそのまま反映した情報となる。そして、露光の際に、第1移動情報と第2移動情報とに基づいて算出された補正情報を考慮しつつ、ステージの移動が制御される(ステップ126)。従って、ステージ上の液浸領域の有無に起因する誤差が生じないようにステージを制御することが可能となる。これにより、移動体の位置制御性を向上させることが可能となる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)