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1. (WO2005078736) 半導体デバイス試験装置及び試験方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/078736    国際出願番号:    PCT/JP2004/001805
国際公開日: 25.08.2005 国際出願日: 18.02.2004
IPC:
G01R 31/28 (2006.01), G11C 29/00 (2006.01)
出願人: ADVANTEST CORPORATION [JP/JP]; 1-32-1, Asahi-cho, Nerima-ku, Tokyo 1790071 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OKAWA, Kazuyoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OGINO, Junko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YOSHINAGA, Masayuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HONDA, Hajime [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OKAWA, Kazuyoshi; (JP).
OGINO, Junko; (JP).
YOSHINAGA, Masayuki; (JP).
HONDA, Hajime; (JP)
代理人: KUSANO, Takashi; 4th Floor, Shinjuku NSO Building 1-22, Shinjuku 3-chome Shinjuku-ku, Tokyo 160-0022 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) SEMICONDUCTOR DEVICE TESTING APPARATUS AND TESTING METHOD
(FR) APPAREIL DE TEST DE SEMICONDUCTEUR ET METHODE DE TEST
(JA) 半導体デバイス試験装置及び試験方法
要約: front page image
(EN)A semiconductor device testing apparatus wherein a test processor (20) is used to apply a test signal to a DUT including a semiconductor memory, a failure/no failure test of the memory is performed based on the response signal, and wherein a remedy analysis dedicated calculation unit (30) is used to analyze the test result to decide how to replace a defective cell of the memory on a spare line. The remedy analysis dedicated calculation unit (30) has a fail memory part (31) for storing a test result and a general-purpose remedy analysis part (32) for analyzing the test result according to an MRA program and for inserting, between the analysis process units, and executing a user function of a user analysis program.
(FR): Un appareil de test de semi-conducteur dans lequel un processeur de test (20) est utilisé pour appliquer un signal de test à un DUT comprenant une mémoire de semi-conducteur, un test d'échec/non-échec de la mémoire est réalisé en se basant sur le signal de réponse, et dans lequel une unité de calcul dédiée à l'analyse de réparation (30) est utilisée pour analyser le résultat de test pour décider comment remplacer une cellule défectueuse de la mémoire sur une ligne libre. L'unité de calcul dédiée à l'analyse de réparation (30) dispose d'une partie de mémoire d'échec (31) pour stocker un résultat de test et une partie d'analyse de réparation à usage général (32) pour analyser le résultat de test selon un programme MRA et pour insérer, entre les unités de processus d'analyse, et exécuter une fonction d'utilisateur d'un programme d'analyse d'utilisateur.
(JA)テストプロセサ(20)により半導体メモリを内蔵するDUTに試験信号を印加し、その応答信号に基いてメモリの良否を判定し、救済解析専用計算ユニット(30)によりその試験結果を解析してメモリの欠陥セルをどのようにスペアラインで置き換えるかを決める半導体デバイス試験装置であって、救済解析専用計算ユニット(30)は試験結果を記憶するフェイルメモリ部(31)と、その試験結果をMRAプログラムに従って解析すると共に、その解析処理単位間にユーザ解析プログラムのユーザ関数を挿入実行する汎用救済解析部(32)とを有している。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)