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1. (WO2005078152) スパッタリングターゲット並びに光情報記録媒体及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/078152    国際出願番号:    PCT/JP2004/010798
国際公開日: 25.08.2005 国際出願日: 29.07.2004
予備審査請求日:    12.01.2005    
IPC:
C04B 35/457 (2006.01), C23C 14/34 (2006.01), G11B 7/24 (2006.01), G11B 7/26 (2006.01)
出願人: Nippon Mining & Metals Co., Ltd. [JP/JP]; 10-1, Toranomon 2-chome, Minato-ku, Tokyo 105-0001 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TAKAMI, Hideo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAHAGI, Masataka [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TAKAMI, Hideo; (JP).
YAHAGI, Masataka; (JP)
代理人: OGOSHI, Isamu; OGOSHI International Patent Office Toranomon 9 Mori Bldg. 3F 2-2, Atago 1-Chome Minato-ku, Tokyo 1050002 (JP)
優先権情報:
2004-039145 17.02.2004 JP
発明の名称: (EN) SPUTTERING TARGET, OPTICAL INFORMATION RECORDING MEDIUM AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME
(FR) CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE, SUPPORT D’ENREGISTREMENT D’INFORMATIONS OPTIQUES ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE CEUX-CI
(JA) スパッタリングターゲット並びに光情報記録媒体及びその製造方法
要約: front page image
(EN)A sputtering target characterized in that it is comprised of an In2O3-ZnO-SnO2 composite oxide whose main component is SnO2 compounded with an oxide of any one or both of Ta and Y elements. There is provided a thin film for optical information recording medium (especially used a protective film) that is stable in film amorphous properties, realizes high film forming speed, excels in adherence with recording layer and mechanical properties and is high in transmittance and that by effecting nonsulfide constitution, can suppress deterioration of adjacent reflective layer and recording layer. Further, there are provided a process for producing the same and a sputtering target for use therein. Accordingly, not only can the performance of optical information recording medium be enhanced but also a striking productivity increase can be attained.
(FR)Cible de pulvérisation cathodique caractérisée en ce qu’elle se compose d’un oxyde composite In2O3-ZnO-SnO2 dont le composant principal est SnO2 composé avec un oxyde d’un élément Ta ou Y, ou les deux. Il est prévu un film mince pour support d’enregistrement d’informations optiques (utilisé en particulier pour film de protection) stable en matière de propriétés amorphes de film, réalisant une vitesse élevée de formation de film, d’une parfaite adhérence avec la couche d’enregistrement et des propriétés mécanique, de transmittance élevée et en effectuant une constitution sans sulfure, susceptible d'éviter la détérioration de la couche réfléchissante adjacente et de la couche d’enregistrement. De plus, il est prévu un procédé de production de ceux-ci et une cible de pulvérisation cathodique pour utilisation dans celui-ci. En conséquence, on peut non seulement améliorer les performances du support d’enregistrement d’informations optiques, mais aussi augmenter la productivité de façon marquante.
(JA) SnO2を主成分とするIn2O3-ZnO-SnO2系複合酸化物に、Ta、Yの何れか1種又は2種の元素の酸化物を添加した材料から成ることを特徴とするスパッタリングターゲット。膜の非晶質性が安定であり、成膜速度が速く、記録層との密着性、機械特性に優れ、且つ透過率が高く、非硫化物系で構成することにより、隣接する反射層、記録層の劣化が生じ難い光情報記録媒体用薄膜(特に保護膜としての使用)及びその製造方法並びにこれらに適用できるパッタリングターゲットに関するものであり、これによって、光情報記録媒体の特性の向上及び生産性を大幅に改善することを目的とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)