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1. WO2005076342 - 非接触搬送装置

公開番号 WO/2005/076342
公開日 18.08.2005
国際出願番号 PCT/JP2005/000491
国際出願日 17.01.2005
IPC
B25J 15/06 2006.01
B処理操作;運輸
25手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
Jマニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
15把持部
06真空または磁力把持装置をもつもの
B65G 49/06 2006.01
B処理操作;運輸
65運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;作業場コンベヤシステムまたは気体式チューブコンベヤ
49他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置
05もろい,または損傷性材料または物品用のもの
06もろい薄板状材料,例.ガラス板,用のもの
B65G 49/07 2006.01
B処理操作;運輸
65運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;作業場コンベヤシステムまたは気体式チューブコンベヤ
49他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置
05もろい,または損傷性材料または物品用のもの
07半導体ウェハーのためのもの
H01L 21/68 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
68位置決め,方向決め,または整列のためのもの
CPC
B65G 2249/045
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
2249Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
04Arrangements of vacuum systems or suction cups
045Details of suction cups suction cups
B65G 47/911
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
47Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
90Devices for picking-up and depositing articles or materials
91incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
911with air blasts producing partial vacuum
B65G 49/061
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
49Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
05for fragile or damageable materials or articles
06for fragile sheets, e.g. glass
061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
H01L 21/6838
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
683for supporting or gripping
6838with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
出願人
  • 株式会社コガネイ KOGANEI CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 田苗 俊和 TANAE, Toshikazu [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 田苗 俊和 TANAE, Toshikazu
代理人
  • 筒井 大和 TSUTSUI, Yamato
優先権情報
2004-03247609.02.2004JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) NON-CONTACT CARRIER DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SUPPORT SANS CONTACT
(JA) 非接触搬送装置
要約
(EN)
A non-contact carrier device (10) capable of holding and carrying a carried article (W) forward of a carrying head (12) without bringing the carried article into contact with the carrying head (12). A gas supply surface (18) in which the opening part of a gas supply hole (19) is formed, an annular holding surface (21) projected from the gas supply surface, and a gas guide surface (22) smoothly extended from the gas supply surface (18) and continued with the holding surface (21) are formed on the tip face of the carrying head (12). A nozzle (24) fitted to the carrying head (12) comprises a base part (24a) fitted to the carrying head (12) and a disk part (24b) opposed to the gas supply surface (18) and forming an annular gas discharge slit (25) in the clearance thereof from the gas supply surface. Since the nozzle (24) is axially moved relative to the conveying head (12) by a screw member (35), the width of the slit (25) can be changed. An elastic force in the direction for increasing the width of the slit (25) is added to the nozzle (24) by a rubber material (37).
(FR)
Dispositif de support sans contact (10) capable de maintenir et de porter un article porté (W) en avant d'une tête porteuse (12) sans amener l'article porté en contact avec la tête porteuse (12). Une surface d'alimentation en gaz (18) , dans laquelle la partie d'ouverture d'un orifice d'alimentation en gaz (19) est formée, une surface de maintien annulaire (21) saillant depuis la surface d'alimentation en gaz et une surface de guidage de gaz (22) s'étendant uniformément depuis la surface d'alimentation en gaz (18) et se poursuivant par la surface de maintien (21) sont formées sur la face de pointe de la tête porteuse (12). Une buse (24) adaptée sur la tête porteuse (12) comprend une partie de base (24a) adaptée sur la tête porteuse (12) et une partie de disque (24b) en face de la surface d'alimentation en gaz (18) et formant une fente de décharge de gaz annulaire (25) dans l'espace entre elle et la surface d'alimentation en gaz. Comme la buse (24) est déplacée axialement par rapport à la tête porteuse (12) par un organe de vis (35), la largeur de la fente (25) peut être ajustée. Une force élastique dans la direction d'augmentation de la largeur de la fente (25) est conférée à la buse (24) par un matériau en caoutchouc (37).
(JA)
 この非接触搬送装置10は、被搬送物Wを搬送ヘッド12に接触させることなく、搬送ヘッド12の前方に保持して搬送する。搬送ヘッド12の先端面には、気体供給孔19の開口部が形成された気体供給面18と、これよりも突出した環状の保持面21と、気体供給面18から保持面21になだらかに連なる気体案内面22とが形成され、搬送ヘッド12に装着されるノズル24は、搬送ヘッド12に装着される基部24aと、気体供給面18に対向するとともにこれとの間で環状の気体吐出用のスリット25を形成する円板部24bとを備えている。ノズル24は搬送ヘッド12に対してねじ部材35により軸方向に移動することによってスリット25の幅は変化する。ノズル24にはスリット25の幅を大きくする方向の弾性力がゴム材37により加えられている。
他の公開
US2007131660
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