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1. (WO2005076323) 露光装置及びデバイス製造方法、メンテナンス方法及び露光方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/076323    国際出願番号:    PCT/JP2005/001827
国際公開日: 18.08.2005 国際出願日: 08.02.2005
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SHIRAISHI, Kenichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SHIRAISHI, Kenichi; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 2-3-1, Yaesu, Chuo-ku, Tokyo 1048453 (JP)
優先権情報:
2004-033679 10.02.2004 JP
発明の名称: (EN) ALIGNER, DEVICE MANUFACTURING METHOD, MAINTENANCE METHOD AND ALIGNING METHOD
(FR) ALIGNEUR, PROCEDE DE FABRICATION DE DISPOSITIF, PROCEDE DE MAINTENANCE ET PROCEDE D'ALIGNEMENT
(JA) 露光装置及びデバイス製造方法、メンテナンス方法及び露光方法
要約: front page image
(EN)An aligner which eliminates a problem of supplying a liquid having deteriorated cleanliness and a problem of forming a water mark. The aligner (EX) projects exposure light (EL) on a substrate (P) through a projection optical system (PL) and a liquid (LQ) and exposes the substrate (P). The aligner is provided with a liquid supplying mechanism (10) for supplying the liquid (LQ) and measuring equipment (60) for measuring a time when the liquid supply from the liquid supplying mechanism (10) is stopped.
(FR)Aligneur éliminant le problème de l'alimentation d'un liquide de propreté dégradée et le problème de la formation d'une ligne d'eau. L'aligneur (EX) projette de la lumière d'exposition (EL) sur un substrat (P) à travers un système optique de projection (PL) et un liquide (LQ) et expose le substrat (P). L'aligneur est pourvu d'un mécanisme d'alimentation en liquide (10) pour fournir le liquide (LQ) et d'un équipement de mesure (60) pour mesurer une période à laquelle l'alimentation en liquide depuis le mécanisme d'alimentation en liquide (10) est arrêtée.
(JA) 清浄度の低下した液体を供給してしまう不都合を防止するとともに、ウォーターマークが形成される不都合を防止することができる露光装置を提供する。露光装置(EX)は、投影光学系(PL)と液体(LQとを介して基板(P)上に露光光(EL)を照射して、基板(P)を露光するものであって、液体(LQ)を供給するための液体供給機構(10)と、液体供給機構(10)からの液体供給の停止時間を計測する計測器(60)とを備えている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)