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1. (WO2005076321) 露光装置及びデバイス製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/076321    国際出願番号:    PCT/JP2005/001225
国際公開日: 18.08.2005 国際出願日: 28.01.2005
IPC:
G01B 11/00 (2006.01), G01B 11/02 (2006.01), G01B 11/24 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TAKAIWA, Hiroaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HORIUCHI, Takashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TAKAIWA, Hiroaki; (JP).
HORIUCHI, Takashi; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 2-3-1, Yaesu Chuo-ku, Tokyo 1048453 (JP)
優先権情報:
2004-026864 03.02.2004 JP
発明の名称: (EN) EXPOSURE APPARATUS AND METHOD OF PRODUCING DEVICE
(FR) APPAREIL D’EXPOSITION ET PROCEDE DE FABRICATION D’UN DISPOSITIF
(JA) 露光装置及びデバイス製造方法
要約: front page image
(EN)Provided is an exposure apparatus for exposing a substrate by irradiating exposure light on the substrate through a projection optical system and liquid, where the exposure apparatus has a detection device for detecting whether or not the liquid is present on an object placed below the forward end of the projection optical system. Also provided is a detection device having an emission section for emitting detection light to a liquid immersion region formed between a projection optical system and an object placed on the image surface side of the system and having a light reception section placed at a predetermined position relative to the detection light, and obtaining at least either the size or shape of the liquid immersion region based on the result of light reception by the light reception section. The detection devices detect whether or not liquid is present on an object placed below the forward end of the projection optical system or detect the shape of liquid and a contact angle, and based on the result detected, optimum treatment is performed to maintain high exposure accuracy and measurement accuracy.
(FR)Il est prévu un appareil d’exposition pour exposer un substrat en illuminant le substrat par une lumière d’exposition à travers un système de projection optique et un liquide, l’appareil d’exposition possédant un dispositif de projection pour détecter si le liquide est présent ou non sur un objet placé en dessous de l’extrémité avant du système de projection optique. Il est également prévu un dispositif de détection possédant une section d’émission pour émettre une lumière de détection vers une région d’immersion liquide formée entre un système de projection optique et un objet placé du côté de surface image du système, et une section de réception de lumière placée à une position prédéterminée par rapport à la lumière de détection, et obtenant au moins soit la dimension, soit la forme de la région d’immersion liquide en fonction du résultat de la réception de lumière par la section de réception de lumière. Les dispositifs de détection détectent si du liquide est présent ou non sur un objet placé en dessous de l’extrémité avant du système de projection optique ou détectent la forme du liquide et l’angle de contact et, en fonction du résultat détecté, un traitement optimal est mis en œuvre avec une grande précision d’exposition et une grande précision de mesure.
(JA) 投影光学系と液体とを介して基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、前記投影光学系の先端よりも下方に配置された物体上に液体が有るか否かを検出する検出装置を備える露光装置。また、投影光学系とその像面側に配置された物体との間に形成された液浸領域に対して検出光を射出する射出部と、前記検出光に対して所定位置に配置された受光部とを有し、前記受光部の受光結果に基づいて前記液浸領域の大きさ及び形状のうち少なくとも一方を求める検出装置も開示する。検出装置を使って、投影光学系の先端よりも下方に配置された物体上における液体の有無や液浸領域の状態、あるいは液体の形状や接触角を検出することで、その検出結果に基づいて高い露光精度及び計測精度を維持するための最適な処置を施す。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)