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1. (WO2005075701) 薄膜形成装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/075701    国際出願番号:    PCT/JP2005/002050
国際公開日: 18.08.2005 国際出願日: 10.02.2005
IPC:
C23C 14/50 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
出願人: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagizono, Chigasaki-shi Kanagawa 2538543 (JP) (米国を除く全ての指定国).
MATSUMOTO, Takafumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MIKAMI, Shun [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HANZAWA, Kouichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MORIYA, Mineharu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ODAGI, Hideyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SHIMADA, Tetsuya [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KUBO, Masashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IKEDA, Susumu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: MATSUMOTO, Takafumi; (JP).
MIKAMI, Shun; (JP).
HANZAWA, Kouichi; (JP).
MORIYA, Mineharu; (JP).
ODAGI, Hideyuki; (JP).
SHIMADA, Tetsuya; (JP).
KUBO, Masashi; (JP).
IKEDA, Susumu; (JP)
代理人: KITAMURA, Kinichi; 703, New Shinbashi Building, 16-1, Shinbashi 2-chome, Minato-Ku Tokyo 1050004 (JP)
優先権情報:
2004-033501 10.02.2004 JP
発明の名称: (EN) THIN FILM FORMING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE FORMATION DE FILM FIN
(JA) 薄膜形成装置
要約: front page image
(EN)[PROBLEMS] A thin film forming apparatus such that a substrate can be easily fixed/removed to/from the outer circumferential surface of a drum type substrate holder through a simple arrangement. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] The drum type substrate holder (5) is supported in a horizontal posture rotatably about a horizontal rotational axis in a film deposition chamber. A jig (13) holding a substrate (12) fixedly is transferred by an arm horizontally onto the outer circumferential surface of the drum type substrate holder (5), and an end part (13b) of the substrate fixing jig (13) can be secured by a securing device (14) provided at the corner part (5a) of the outer circumferential surface of the drum type substrate holder (5).
(FR)[PROBLÈMES] Un appareil de formation de film fin tel qu’un film-support peut être facilement fixé ou enlevé de la surface circonférentielle externe d’un distributeur de film-support de type à tambour par un simple arrangement. [MOYEN DE RÉSOUDRE LE PROBLÈME] Le distributeur de film-support de type à tambour (5) est soutenu dans une posture horizontale capable de tourner autour d’un axe de rotation horizontal dans une chambre de déposition. Un dispositif de serrage (13) tenant solidement un film-support (12) est transféré horizontalement par un bras vers la surface circonférentielle externe du distributeur de film-support de type à tambour (5), et une partie de l’extrémité (13b) du dispositif de serrage du film-support (13) peut être bloquée par un dispositif de blocage (14) fourni dans la partie du coin (5a) de la circonférence de la surface circonférentielle externe du distributeur de film-support de type à tambour (5).
(JA)【課題】 ドラム型基板ホルダーの外周面に対して基板の取り付け、取り外しを、簡易な構成で容易に行うことができる薄膜形成装置を提供する。 【解決手段】 ドラム型基板ホルダー5を水平方向の回転軸を回転中心にして成膜室内に水平状態で回転自在に支持し、基板12を固定保持した基板固定治具13をアームでドラム型基板ホルダー5の外周面上に水平に搬送することで、ドラム型基板ホルダー5の外周面の角部5aに設けた固定装置14で基板固定治具13の端部13bを固定することができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)