(EN) A plasma traveling from an arc discharge section is thoroughly separated from droplets. The plasma is guided into a plasma traveling passage, and the droplets are completely collected in a droplet collecting section, thereby preventing the droplets from entering the plasma traveling passage. A plasma is produced by vacuum arc discharge in an arc discharge section (1), and droplets produced as a by-product at the cathode when the plasma is produced are collected in a droplet collecting section (3). A main traveling passage (2) where the mixture of the plasma and droplets travel is provided. The main traveling passage (2) is branched into a droplet traveling passage (4) where droplets travel and a first plasma traveling section (5) where the plasma travels. In a portion of the main traveling passage (2), a restricting plate (7) for restricting the travel of the plasma and droplets is provided. An oblique wall (8) for reflecting the droplets passing the restricting plate (7) toward the droplet collecting section (3) is provided in a portion of the droplet traveling passage (4) beyond the first plasma traveling section (5).
(FR) Un plasma circulant à partir d’une section de décharge d’arc est soigneusement séparé des gouttelettes. Le plasma est guidé dans un passage de circulation du plasma, et les gouttelettes sont complètement recueillies dans une section de récupération des gouttelettes, empêchant ainsi les gouttelettes d’entrer dans le passage de circulation du plasma. Un plasma est produit par décharge d’arc sous vide dans une section de décharge d’arc (1), et les gouttelettes produites sous forme de produit dérivé au niveau de la cathode lorsque le plasma est produit sont recueillies dans une section de récupération des gouttelettes (3). Un passage de circulation principal (2) dans lequel le mélange de plasma et de gouttelettes circule est fourni. Le passage de circulation principal (2) est branché dans un passage de circulation des gouttelettes (4) dans lequel les gouttelettes circulent et une première section de circulation du plasma (5) dans lequel le plasma circule. Dans une partie du passage de circulation principal (2), une plaque de restriction (7) permettant de restreindre la circulation du plasma et des gouttelettes est fourni. Une paroi oblique (8) permettant de renvoyer les gouttelettes passant par la plaque de restriction (7) vers la section de récupération des gouttelettes (3) est fournie dans une partie du passage de circulation des gouttelettes (4) au-delà de la première section de circulation du plasma (5).
(JA) アーク放電部から進行するプラズマとドロップレットを確実に分離でき、プラズマはプラズマ進行路に導きドロップレットはドロップレット捕集部に確実に捕集でき、プラズマ進行路へのドロップレットの進入を防止する。 アーク放電部１の真空アーク放電でプラズマを発生させ、プラズマ発生時に陰極から副生するドロップレットをドロップレット捕集部３に捕集するもので、プラズマとドロップレットが混合状態で進行する主進行路２を設け、主進行路２をドロップレットが進行するドロップレット進行路４とプラズマが進行する第１プラズマ進行路５とに分岐し、主進行路２の途中部にプラズマとドロップレットの進行を制限するための制限板７を設け、制限板７を通過したドロップレットをドロップレット捕集部３に向けて反射させる斜行壁８をドロップレット進行路４の途中部に設け且つ第１プラズマ進行路５を越えた位置に形成する。