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1. (WO2005073692) 基板検査装置と基板検査方法と回収治具

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/073692    国際出願番号:    PCT/JP2005/001562
国際公開日: 11.08.2005 国際出願日: 27.01.2005
G01N 1/28 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
出願人: NAS GIKEN INC. [JP/JP]; 192-2, Oaza Ishihata, Mizuhomachi Nisitama-gun Tokyo 190-1211 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SAKURAI, Yoshio [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OGAWA, Yutaka [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SAKURAI, Yoshio; (JP).
OGAWA, Yutaka; (JP)
代理人: KOZUKA, Toshiki; 2nd Floor Aoki-Bldg. 4-9, Monzennakacho 2-chome Koto-ku Tokyo 135-0048 (JP)
2004-022267 29.01.2004 JP
(JA) 基板検査装置と基板検査方法と回収治具
要約: front page image
(EN)A substrate inspection device, comprising a substrate rotating device holding a substrate by the holding surface thereof and rotating the substrate, a disk having a disk body rotatably supported on a base and three lift cams fixed to the upper side of the disk body and forming cam faces formed of tilted surfaces tilting in the rotating direction, and a lifter having a lifter body having a supporting surface on which the substrate is loaded and movably guided in the vertical direction and lifter driven sections fixedly projected to the lower side of the lifter body. The lower sides of the lifter driven sections are brought into slidable contact with the cam faces at the contact points thereof. When the contact points are moved to the upper side of the tilted surface, the supporting surface is positioned higher than the holding surface. Accordingly, the substrate inspection device and a substrate inspection method capable of increasing measurement accuracy can be provided. Also, the substrate inspection device suitable for moving along the outer surface of the substrate with which liquid drips are adhered as well as the substrate inspection method and a recovery tool can be provided.
(FR)Dispositif d’inspection d’un substrat comprenant un dispositif de rotation du substrat maintenant un substrat avec sa surface de maintien et mettant en rotation le substrat, un corps à disques supporté en rotation par une base et trois cames élévatrices fixées sur la partie supérieure du corps à disques et formant des faces à cames formées de surfaces inclinées s’inclinant dans le sens de la rotation, et un poussoir ayant un corps poussoir possédant un surface de support sur laquelle le substrat est posé et guidé en mouvement dans la direction verticale et les sections actionnées par le poussoir sont fixement projetées vers la partie inférieure du corps poussoir. Les côtés inférieurs des sections actionnées par le poussoir sont mis en contact coulissant avec les faces à cames au niveau des points de contact de celles-ci. Quand les points de contact sont déplacés vers le côté supérieur de la surface inclinée, la surface de support est positionnée plus haut que la surface de maintien. En conséquence, la présente invention concerne un dispositif d’inspection d’un substrat et un procédé d’inspection d’un substrat permettant d’améliorer la précision des mesures effectuées. L’invention concerne en outre un dispositif d’inspection d’un substrat permettant de circuler sur la surface extérieure du substrat sur laquelle des gouttes de liquide ont collé ainsi qu’un procédé d’inspection d’un substrat et un outil de récupération.
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)