WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2005071718) 光学系、露光装置、および露光方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/071718    国際出願番号:    PCT/JP2005/000406
国際公開日: 04.08.2005 国際出願日: 14.01.2005
IPC:
G02B 13/14 (2006.01), G02B 17/08 (2006.01), G02B 27/28 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OMURA, Yasuhiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OMURA, Yasuhiro; (JP)
代理人: YAMAGUCHI, Takao; Daiichi Bldg., 10, Kanda-tsukasacho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010048 (JP)
優先権情報:
2004-018226 27.01.2004 JP
2004-338749 24.11.2004 JP
発明の名称: (EN) OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE SYSTEM, AND EXPOSURE METHOD
(FR) SYSTÈME OPTIQUE, SYSTÈME D'EXPOSITION, ET PROCÉDÉ D'EXPOSITION
(JA) 光学系、露光装置、および露光方法
要約: front page image
(EN)An optical system capable of realizing, based on a simple construction, an almost peripheral-direction polarized state inside a lens aperture with a limited light quantity loss. The optical system comprises a double refraction element (21) for forming an advanced phase axis distribution inside a lens aperture into an almost circumferential-direction distribution or an almost radial-direction distribution, and an optical rotation element (22) disposed behind this double refraction element so as to rotate a polarized state inside the lens aperture. The double refraction element is formed of a uniaxial crystal material and has a light transmitting member having its crystal optical axis disposed almost in parallel to the optical axis. An almost spherical-wave light flux enters the light transmitting member in an almost circularly polarized state.
(FR)L'invention concerne un système optique pouvant créer, sur la base d'une construction simple, un état polarisé dans un sens quasi périphérique à l'intérieur d'une ouverture d'objectif, avec une perte limitée de l'intensité lumineuse. Le système optique comprend un élément de réfraction double (21) servant à transformer une distribution de l'axe à phase avancée à l'intérieur de l'ouverture d'objectif en une distribution dans un sens quasi circonférentiel ou une distribution dans un sens quasi radial. Le système optique comprend également un élément de rotation optique (22) disposé derrière ledit élément de réfraction double de façon à mettre en rotation un état polarisé à l'intérieur de l'ouverture d'objectif. L'élément de réfraction double est formé d'un matériau cristallin uniaxial et comprend un élément d'émission optique dont l'axe optique cristallin est disposé de façon quasi parallèle à l'axe optique. Un flux d'onde lumineuse quasi sphérique pénètre dans l'élément d'émission optique dans un état à polarisation quasi circulaire.
(JA) 簡素な構成に基づいて、光量損失を抑えつつ、レンズ開口内においてほぼ周方向偏光状態を実現することのできる光学系。本発明の光学系は、レンズ開口内の進相軸分布をほぼ円周方向の分布またはほぼ半径方向の分布にするための複屈折素子(21)と、この複屈折素子の後側に配置されてレンズ開口内の偏光状態を回転させるための旋光素子(22)とを備えている。複屈折素子は、一軸性結晶材料により形成され、且つ結晶光学軸が光軸とほぼ平行に配置された光透過部材を有する。光透過部材には、ほぼ円偏光状態でほぼ球面波の光束が入射する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)