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1. (WO2005048336) 液切り装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/048336    国際出願番号:    PCT/JP2004/016667
国際公開日: 26.05.2005 国際出願日: 10.11.2004
IPC:
B08B 5/02 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01), H01L 21/306 (2006.01)
出願人: SUMITOMO PRECISION PRODUCTS CO., LTD [JP/JP]; 1-10, Fusou-cho Amagasaki-shi, Hyogo 6600891 (JP) (米国を除く全ての指定国).
INOUE, Kouichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KONDO, Tomoki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
FUJINE, Osamu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: INOUE, Kouichi; (JP).
KONDO, Tomoki; (JP).
FUJINE, Osamu; (JP)
代理人: YANAGIDATE, Takahiko; Taisei Patent Agent 6-15 Kawaramachi 4-chome, Chuo-ku Osaka-shi, Osaka 5410048 (JP)
優先権情報:
2003-385130 14.11.2003 JP
発明の名称: (EN) LIQUID REMOVING DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'EVACUATION DE LIQUIDE
(JA) 液切り装置
要約: front page image
(EN)Liquid remaining on the surface of a large-sized substrate is removed as much as possible without causing the surface to dry even when the substrate is transported at a high speed. Also, the thickness of a liquid film remaining after the removal is made uniform, and liquid scattering in the removal is suppressed. To achieve this, linear nozzles (30, 40) for removing liquid by air knives across the overall width of a substrate (10) are arranged in two stages in the transportation direction of the substrate (10). The linear nozzles (30, 40) are inclined at an angle of 5 to 30 degrees to the side relative to the transportation direction of the substrate (10). The distance (D) between the linear nozzles (30, 40) is set to 50 to 300 mm. The volume of air discharged from the linear nozzle (40) is set equal to or less than that from the linear nozzle (30). The inclination angle (&thetas;2) of an air knife relative to a vertical line is set to 25 to 30 degrees for the linear nozzle (30) and to 20 to 25 degrees for the linear nozzle (40).
(FR)Le liquide résiduel sur la surface d'un substrat de grande taille peut être retiré dans une large mesure sans séchage de la surface, même en cas de déplacement du substrat à grande vitesse. De plus, l'épaisseur du film de liquide restant après évacuation est uniformisée, sans diffraction du liquide lors du processus d'élimination. A cette fin, on dispose les buses linéaires (30, 40) de séparateur d'air sur toute la largeur du substrat en deux étages dans le sens d'avance du substrat (10). Les buses linéaires (30, 40) sont inclinées de 5 à 30 ° sur le côté par rapport au sens d'avance du substrat (10). La distance (D) entre les buses linéaires (30, 40) est comprise entre 50 et 300 mm. Le volume d'air sortant d'une buse linéaire (40) est égal ou inférieur à celui émis par une buse linéaire (30). L'angle d'inclinaison ($g(u)2) d'un séparateur d'air par rapport à la verticale est réglé à 25-30° pour la buse linéaire (30) et à 20-25 ° pour la buse linéaire (40).
(JA)not available
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)