WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2005048325) ステージ駆動方法及びステージ装置並びに露光装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/048325    国際出願番号:    PCT/JP2004/016584
国際公開日: 26.05.2005 国際出願日: 09.11.2004
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SHIBAZAKI, Yuichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SHIBAZAKI, Yuichi; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 2-3-1, Yaesu Chuo-ku, Tokyo 1048453 (JP)
優先権情報:
2003-386572 17.11.2003 JP
発明の名称: (EN) STAGE DRIVE METHOD, STAGE APPARATUS, AND EXPOSURE APPARATUS
(FR) PROCEDE D'ENTRAINEMENT D'ETAGE, APPAREIL A ETAGE ET APPAREIL D'EXPOSITION
(JA) ステージ駆動方法及びステージ装置並びに露光装置
要約: front page image
(EN)A stage drive method for driving a stage on the surface of a surface plate, along a guide section extending in a first direction. The method includes a step of rotating the guide section about an axis perpendicular to the surface according to a thrust occurring when the stage is driven in the first direction. Gap collapse does not occur even if a moment load is applied to the guide section, so that safety is increased.
(FR)L'invention concerne un procédé d'entraînement d'étage permettant d'entraîner un étage sur la surface d'une plaque de surface, le long d'une section guide s'étendant dans une première direction. Le procédé comprend une étape consistant à faire tourner la section guide autour d'un axe perpendiculaire à la surface en fonction d'une poussée ayant lieu quand l'étage est entraîné dans la première direction. Un effondrement d'espace n'a pas lieu même si une charge momentanée est appliquée sur la section guide, la sécurité étant ainsi améliorée.
(JA) 第1方向に延びたガイド部に沿ってステージを定盤の表面で駆動するステージ駆動方法であって、前記第1方向へ前記ステージを駆動する際の推力に応じて、前記ガイド部を前記表面と直交する軸周りに回転させるステップを含む。ガイド部にモーメント負荷が掛かった場合でもギャップつぶれを生じさせず、安全性を高めることができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)