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1. (WO2005042436) 窒化アルミニウム接合体及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/042436    国際出願番号:    PCT/JP2004/016352
国際公開日: 12.05.2005 国際出願日: 28.10.2004
IPC:
C04B 37/00 (2006.01)
出願人: TOKUYAMA CORPORATION [JP/JP]; 1-1, Mikage-cho Shunan-shi, Yamaguchi 7458648 (JP) (米国を除く全ての指定国).
ESAKI, Tatsuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SATO, Hideki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
AZUMA, Masanobu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: ESAKI, Tatsuo; (JP).
SATO, Hideki; (JP).
AZUMA, Masanobu; (JP)
代理人: ONO, Hisazumi; Nippon Shuzo bldg. 1-21, Nishi-shimbashi 1-chome Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
優先権情報:
2003-373074 31.10.2003 JP
発明の名称: (EN) ALUMINUM NITRIDE JOINED ARTICLE AND METHOD FOR MANUFACTURE THEREOF
(FR) ARTICLE ASSEMBLE A BASE DE NITRURE D'ALUMINIUM ET PROCEDE DE PRODUCTION CORRESPONDANT
(JA) 窒化アルミニウム接合体及びその製造方法
要約: front page image
(EN)[PROBLEMS] To provide an aluminum nitride joined article useful as an electrostatic chuck for holding a semiconductor wafer in a semiconductor manufacturing process, which comprises aluminum nitride sintered products joined via a sintered metal layer and allows the adsorption treatment for the semiconductor wafer to be carried out with uniformity when used for the above. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] An aluminum nitride sintered product joined article which comprises two sheets of aluminum nitride sintered product and, formed on at least a part of the surface for joining, a sintered metal layer comprising tungsten or molybdenum and having a thickness of 15 to 100 μm, wherein the above sintered metal layer has a sheet resistance value of 1 Ω/□ or less and exhibits a warp of 100 μm/100 mm or less, and the shear strength between the sintered metal layer and the aluminum nitride sintered product in the above surface for joining is 4 kg/mm2 or greater.
(FR)L'invention vise à mettre au point un article assemblé à base de nitrure d'aluminium, s'utilisant comme mandrin de serrage électrostatique pour maintenir une plaquette à semi-conducteurs dans un processus de production de semi-conducteurs. Ledit article comprend des produits sintérisés en nitrure d'aluminium, assemblés par le biais d'une couche de métal sintérisé et permet d'effectuer le traitement par adsorption sur la plaquette à semi-conducteurs, de manière homogène lorsqu'il est utilisé à cet effet. A cette fin, il est prévu un article formé de produit sintérisé à base de nitrure d'aluminium, qui comprend deux feuilles de produit sintérisé à base de nitrure d'aluminium et, formée sur au moins une partie de la surface d'assemblage, une couche de métal sintérisé comprenant du tungstène ou du molybdène et présentant une épaisseur de l'ordre de 15 à 100 $g(m)m. Ladite couche de métal sintérisé présente une valeur de résistance de couche de 1 $g(V)/? ou moins et un gauchissement de 100$g(m)m/100 mm ou moins et la résistance au cisaillement entre la couche de métal sintérisé et le produit sintérisé à base de nitrure d'aluminium dans la surface précitée, prévue pour l'assemblage, est de 4 kg/mm2 ou davantage.
(JA)not available
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)