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1. (WO2005041282) シート剥離装置及び剥離方法

Pub. No.:    WO/2005/041282    International Application No.:    PCT/JP2004/015581
Publication Date: Sat May 07 01:59:59 CEST 2005 International Filing Date: Fri Oct 22 01:59:59 CEST 2004
IPC: H01L 21/304
H01L 21/68
Applicants: LINTEC CORPORATION
リンテック株式会社
TSUJIMOTO, Masaki
辻本正樹
YOSHIOKA, Takahisa
吉岡孝久
Inventors: TSUJIMOTO, Masaki
辻本正樹
YOSHIOKA, Takahisa
吉岡孝久
Title: シート剥離装置及び剥離方法
Abstract:
 複数の剥離手段を使い分けて保護シートの材質や、肉厚等の相違に応じて最適な条件で剥離を行うことのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供する。  半導体ウエハWの面に貼付されたシートSを、これより幅狭の接着テープTを用いて剥離するシート剥離装置10であり、当該装置は、接着テープTを前記シートの端部に接着した状態で鈍角方向に引っ張ってシートSを剥離する剥がしヘッド部15(第2の剥離手段)と、接着テープTをシートSを横断する方向に接着した状態で、相対的に緩やかな剥離角度方向に引っ張ってシートSを剥離する第1及び第2のローラ21,22(第1の剥離手段)とを備えている。これら剥離手段は、シートSの種別に応じて何れか一方を選択して利用される。