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1. (WO2005038893) 基板洗浄装置

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/038893    国際出願番号:    PCT/JP2003/013351
国際公開日: 28.04.2005 国際出願日: 20.10.2003
予備審査請求日:    02.05.2005    
H01L 21/00 (2006.01)
出願人: YAMAMOTO, Yoshiharu [JP/JP]; (JP)
発明者: YAMAMOTO, Yoshiharu; (JP)
代理人: YANO, Masayuki; Memoire Bldg., 9, Takeda Tobadonocho, Fushimi-ku, Kyoto-shi, Kyoto 612-8450 (JP)
(JA) 基板洗浄装置
要約: front page image
(EN)An inexpensive substrate washing apparatus (1) capable of developing the same degree of washing force also on the side faces of a substrate as that on the principal plane thereof and capable of changing the angle of an injector during washing without so changing an injection distance, comprising a table (10) horizontally supporting the substrate (70) so as to be rotated, the injector (30) injecting washing fluid to the substrate, an arm (16) holding the injector at a first end part, and a pivot shaft (12) holding the second end part of the arm so as to be rotated around a horizontal axis and guiding in a direction parallel with a table, characterized in that the arm (16) is formed so that the first end part as viewed from the axial direction of the second end part is positioned apart from the axis thereof.
(FR)L'invention concerne un appareil de lavage de substrat bon marché (1) apte à développer la même force de lavage sur les faces latérales d'un substrat et sur celles du plan principal et apte à changer l'angle d'un injecteur pendant le lavage sans qu'il soit nécessaire de modifier la distance d'injection, comprenant une table (10) supportant horizontalement le substrat (70) de manière à le faire tourner, l'injecteur (30) injectant le fluide de lavage dans le substrat, un bras (16) maintenant l'injecteur sur une première partie d'extrémité et une tige pivotante (12) maintenant la seconde partie d'extrémité du bras de manière à tourner autour d'un axe horizontal et à effectuer un guidage dans une direction parallèle à une table. L'appareil de cette invention est caractérisé en ce que le bras (16) est formé de manière que la première partie d'extrémité, telle qu'on la voit depuis la direction axiale de la seconde partie d'extrémité, soit écartée de son axe.
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)