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1. WO2005034594 - 感光性ガラス基板の貫通孔形成方法

公開番号 WO/2005/034594
公開日 14.04.2005
国際出願番号 PCT/JP2004/013511
国際出願日 16.09.2004
IPC
C03C 4/04 2006.01
C化学;冶金
03ガラス;鉱物またはスラグウール
Cガラス,うわ薬またはガラス質ほうろうの化学組成;ガラスの表面処理;ガラス,鉱物またはスラグ製の繊維またはフィラメントの表面処理;ガラスのガラスまたは他物質への接着
4特殊性質をもつガラス用組成物
04感光性ガラス用
C03C 11/00 2006.01
C化学;冶金
03ガラス;鉱物またはスラグウール
Cガラス,うわ薬またはガラス質ほうろうの化学組成;ガラスの表面処理;ガラス,鉱物またはスラグ製の繊維またはフィラメントの表面処理;ガラスのガラスまたは他物質への接着
11あわガラス
C03C 15/00 2006.01
C化学;冶金
03ガラス;鉱物またはスラグウール
Cガラス,うわ薬またはガラス質ほうろうの化学組成;ガラスの表面処理;ガラス,鉱物またはスラグ製の繊維またはフィラメントの表面処理;ガラスのガラスまたは他物質への接着
15繊維やフィラメントの形態をとらないガラスの,エッチングによる表面処理
C03C 19/00 2006.01
C化学;冶金
03ガラス;鉱物またはスラグウール
Cガラス,うわ薬またはガラス質ほうろうの化学組成;ガラスの表面処理;ガラス,鉱物またはスラグ製の繊維またはフィラメントの表面処理;ガラスのガラスまたは他物質への接着
19繊維やフィラメントの形態をとらないガラスの,機械的手段による表面処理(ガラスのサンドブラスト,荒けずりまたはつや出しB24)
C03C 23/00 2006.01
C化学;冶金
03ガラス;鉱物またはスラグウール
Cガラス,うわ薬またはガラス質ほうろうの化学組成;ガラスの表面処理;ガラス,鉱物またはスラグ製の繊維またはフィラメントの表面処理;ガラスのガラスまたは他物質への接着
23繊維やフィラメントの形態をとらない繊維以外のガラスのその他の表面処理
H05K 1/03 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
K印刷回路;電気装置の箱体または構造的細部,電気部品の組立体の製造
1印刷回路
02細部
03基体用材料の使用
CPC
C03C 11/005
CCHEMISTRY; METALLURGY
03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
11Multi-cellular glass ; ; Porous or hollow glass or glass particles
005obtained by leaching after a phase separation step
C03C 15/00
CCHEMISTRY; METALLURGY
03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
15Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
C03C 19/00
CCHEMISTRY; METALLURGY
03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
19Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by mechanical means
C03C 23/002
CCHEMISTRY; METALLURGY
03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
23Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
0005by irradiation
002by ultra-violet light
C03C 23/007
CCHEMISTRY; METALLURGY
03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
23Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
007by thermal treatment
C03C 4/04
CCHEMISTRY; METALLURGY
03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
4Compositions for glass with special properties
04for photosensitive glass
出願人
  • HOYA株式会社 HOYA CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 橋本 和明 HASHIMOTO, Kazuaki [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 小澤 潤 OZAWA, Jun [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 本村 欣也 MOTOMURA, Yoshinari [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 橋本 和明 HASHIMOTO, Kazuaki
  • 小澤 潤 OZAWA, Jun
  • 本村 欣也 MOTOMURA, Yoshinari
代理人
  • 阿仁屋節雄 ANIYA, Setuo
優先権情報
2003-34713506.10.2003JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) METHOD OF FORMING THROUGH HOLE IN PHOTOSENSITIVE GLASS SUBSTRATE
(FR) PROCEDE DE FORMATION DE TROUS TRAVERSANTS DANS UN SUBSTRAT DE VERRE PHOTOSENSIBLE
(JA) 感光性ガラス基板の貫通孔形成方法
要約
(EN)
Many uniform, fine-diameter through holes are formed in a photosensitive glass substrate. A ultraviolet ray (4) is applied onto substrate-form photosensitive glass (1) to form latent images (2), the latent image portions are crystallized by heat-treating, the crystallized portions are removed by etching to form through holes (5), and then the front and rear surfaces of the photosensitive glass (1) are removed up to AA’ and BB’ respectively, whereby the uniformity in the longitudianl direction of through hole bores are kept to within an allowable range.
(FR)
De nombreux trous traversants uniformes de petit diamètre sont formés dans un substrat de verre photosensible. Un rayon ultraviolet (4) est appliqué sur le verre photosensible (1) constituant le substrat pour former des images latentes (2), des parties d'image latente étant cristallisées par un traitement thermique. Les parties cristallisées sont enlevées par gravure pour former des trous traversants (5), puis les surfaces avant et arrière du verre photosensible (1) sont retirées respectivement jusqu'à AA' et BB'. L'uniformité dans la direction longitudinale des trous traversants est maintenue à des valeurs admissibles.
(JA)
 感光牲ガラス基板に多数個の一様かつ微細な径の貫通孔を形成する。  基板状の感光性ガラス1に紫外光4を照射して潜像2を形成し、熱処理を行なうことに より潜像部分を結晶化させ、結晶化した部分をエッチング除去して貫通孔5を形成し、次 いで、感光性ガラス1の表裏面をAA’及びBB’まで除去することによって貫通孔の孔 径の長さ方向における均一性を許容範囲にする。
他の公開
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