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1. WO2005033817 - チャンバの内圧制御装置及び内圧被制御式チャンバ

公開番号 WO/2005/033817
公開日 14.04.2005
国際出願番号 PCT/JP2004/013368
国際出願日 14.09.2004
IPC
G05D 16/20 2006.01
G物理学
05制御;調整
D非電気的変量の制御または調整系
16流体圧力の制御
20電気的手段の使用によって特徴づけられたもの
CPC
G05D 16/208
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
16Control of fluid pressure
20characterised by the use of electric means
2006with direct action of electric energy on controlling means
208using a combination of controlling means as defined in G05D16/2013 and G05D16/2066
Y10T 137/7761
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
137Fluid handling
7722Line condition change responsive valves
7758Pilot or servo controlled
7761Electrically actuated valve
Y10T 137/8741
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
137Fluid handling
8593Systems
87265Dividing into parallel flow paths with recombining
8741With common operator
Y10T 137/87507
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
137Fluid handling
8593Systems
87265Dividing into parallel flow paths with recombining
87507Electrical actuator
出願人
  • 株式会社フジキン FUJIKIN INCORPORATED [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 大見 忠弘 OHMI, Tadahiro [JP]/[JP]
  • 寺本 章伸 TERAMOTO, Akinobu [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 宇野 富雄 UNO, Tomio [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 土肥 亮介 DOHI, Ryousuke [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 西野 功二 NISHINO, Kouji [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 中村 修 NAKAMURA, Osamu [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 松本 篤諮 MATSUMOTO, Atsushi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 永瀬 正明 NAGASE, Masaaki [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 池田 信一 IKEDA, Nobukazu [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 大見 忠弘 OHMI, Tadahiro
  • 寺本 章伸 TERAMOTO, Akinobu
  • 宇野 富雄 UNO, Tomio
  • 土肥 亮介 DOHI, Ryousuke
  • 西野 功二 NISHINO, Kouji
  • 中村 修 NAKAMURA, Osamu
  • 松本 篤諮 MATSUMOTO, Atsushi
  • 永瀬 正明 NAGASE, Masaaki
  • 池田 信一 IKEDA, Nobukazu
代理人
  • 杉本 丈夫 SUGIMOTO, Takeo
優先権情報
2003-34649706.10.2003JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) DEVICE FOR CONTROLLING CHAMBER INNER PRESSURE AND INNER PRESSURE CONTROLLED-TYPE CHAMBER
(FR) REGULATEUR DE LA PRESSION INTERIEURE D'UNE CHAMBRE ET CHAMBRE A PRESSION REGULEE
(JA) チャンバの内圧制御装置及び内圧被制御式チャンバ
要約
(EN)
Flow rate control accuracy is prevented from being reduced in a low flow rate region to enable highly accurate flow rate control over the entire flow rate control region. By this, a chamber inner pressure is highly accurately controlled over a wide range by regulating the flow rate of a gas fed to a chamber. A gas feeding device for feeding a gas to a chamber, where the device is constituted of parallelly connected pressure-type flow rate control devices and a control device for controlling the flow rate control devices and feeds a desired gas, while controlling the flow rate, to a chamber deaerated by a vacuum pump. The gas feeding device is constructed such that one of the pressure-type flow control devices controls a gas flow rate range of up to 10% maximum of the maximum flow rate fed to the chamber and the remaining flow control devices control the remaining range. Further, a pressure detector is installed on a chamber and a detected value from the detector is inputted in the control device. Control signals to the pressure-type flow rate control devices are regulated to control the amount of the gas fed to the chamber, controlling a chamber inner pressure.
(FR)
L'invention, qui empêche la perte de précision de la mesure du débit dans une zone à faible débit et assure la régulation précise du débit dans la totalité de la zone contrôlée, porte sur un dispositif d'alimentation en gaz d'une chambre comportant des débitmètres à pression différentielle montés en parallèle et une commande des débitmètres et de l'alimentation de la chambre désaérée par une pompe à vide. Le dispositif d'alimentation en gaz est tel qu'un seul des débitmètres mesure au plus 10 % du débit total maximal d'alimentation de la chambre, le reste étant mesuré par les autres débitmètres. Par ailleurs, un manomètre placé sans la chambre transmet ses mesures au dispositif de commande, et les signaux de commande des débitmètres à pression différentielle sont régulés pour fixer la quantité de gaz alimentant la chambre et sa pression intérieure.
(JA)
 流量の制御精度が小流量域で大幅に低下するのを防止し、全流量制御域に亘って高精度な流量制御を可能とすることにより、チャンバへ供給するガス流量を調整してチャンバ内圧を広範囲に亘って高精度で制御する。  具体的には、並列状に接続した複数基の圧力式流量制御装置と、複数基の圧力式流量制御装置の作動を制御する制御装置とから形成され、真空ポンプにより排気されたチャンバへ所望のガスを流量制御しつつ供給するチャンバへのガス供給装置に於いて、一基の圧力式流量制御装置をチャンバへ供給する最大流量の多くとも10%までのガス流量域を制御する装置に、残余の圧力式流量制御装置を残りのガス流量域を制御する装置とし、更にチャンバに圧力検出器を設けると共に当該圧力検出器の検出値を制御装置へ入力し、圧力式流量制御装置への制御信号を調整してチャンバへのガス供給量を制御することにより、チャンバ内圧を制御する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報