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1. (WO2005033817) チャンバの内圧制御装置及び内圧被制御式チャンバ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/033817    国際出願番号:    PCT/JP2004/013368
国際公開日: 14.04.2005 国際出願日: 14.09.2004
IPC:
G05D 16/20 (2006.01)
出願人: FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 3-2, Itachibori 2-chome Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5500012 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OHMI, Tadahiro [JP/JP]; (JP).
TERAMOTO, Akinobu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
UNO, Tomio [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
DOHI, Ryousuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NISHINO, Kouji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAKAMURA, Osamu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MATSUMOTO, Atsushi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAGASE, Masaaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IKEDA, Nobukazu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OHMI, Tadahiro; (JP).
TERAMOTO, Akinobu; (JP).
UNO, Tomio; (JP).
DOHI, Ryousuke; (JP).
NISHINO, Kouji; (JP).
NAKAMURA, Osamu; (JP).
MATSUMOTO, Atsushi; (JP).
NAGASE, Masaaki; (JP).
IKEDA, Nobukazu; (JP)
代理人: SUGIMOTO, Takeo; Kitahama-Katano Bldg. 1-21, Kitahama 2-chome Chuo-ku, Osaka-shi Osaka 5410041 (JP)
優先権情報:
2003-346497 06.10.2003 JP
発明の名称: (EN) DEVICE FOR CONTROLLING CHAMBER INNER PRESSURE AND INNER PRESSURE CONTROLLED-TYPE CHAMBER
(FR) REGULATEUR DE LA PRESSION INTERIEURE D'UNE CHAMBRE ET CHAMBRE A PRESSION REGULEE
(JA) チャンバの内圧制御装置及び内圧被制御式チャンバ
要約: front page image
(EN)Flow rate control accuracy is prevented from being reduced in a low flow rate region to enable highly accurate flow rate control over the entire flow rate control region. By this, a chamber inner pressure is highly accurately controlled over a wide range by regulating the flow rate of a gas fed to a chamber. A gas feeding device for feeding a gas to a chamber, where the device is constituted of parallelly connected pressure-type flow rate control devices and a control device for controlling the flow rate control devices and feeds a desired gas, while controlling the flow rate, to a chamber deaerated by a vacuum pump. The gas feeding device is constructed such that one of the pressure-type flow control devices controls a gas flow rate range of up to 10% maximum of the maximum flow rate fed to the chamber and the remaining flow control devices control the remaining range. Further, a pressure detector is installed on a chamber and a detected value from the detector is inputted in the control device. Control signals to the pressure-type flow rate control devices are regulated to control the amount of the gas fed to the chamber, controlling a chamber inner pressure.
(FR)L'invention, qui empêche la perte de précision de la mesure du débit dans une zone à faible débit et assure la régulation précise du débit dans la totalité de la zone contrôlée, porte sur un dispositif d'alimentation en gaz d'une chambre comportant des débitmètres à pression différentielle montés en parallèle et une commande des débitmètres et de l'alimentation de la chambre désaérée par une pompe à vide. Le dispositif d'alimentation en gaz est tel qu'un seul des débitmètres mesure au plus 10 % du débit total maximal d'alimentation de la chambre, le reste étant mesuré par les autres débitmètres. Par ailleurs, un manomètre placé sans la chambre transmet ses mesures au dispositif de commande, et les signaux de commande des débitmètres à pression différentielle sont régulés pour fixer la quantité de gaz alimentant la chambre et sa pression intérieure.
(JA) 流量の制御精度が小流量域で大幅に低下するのを防止し、全流量制御域に亘って高精度な流量制御を可能とすることにより、チャンバへ供給するガス流量を調整してチャンバ内圧を広範囲に亘って高精度で制御する。  具体的には、並列状に接続した複数基の圧力式流量制御装置と、複数基の圧力式流量制御装置の作動を制御する制御装置とから形成され、真空ポンプにより排気されたチャンバへ所望のガスを流量制御しつつ供給するチャンバへのガス供給装置に於いて、一基の圧力式流量制御装置をチャンバへ供給する最大流量の多くとも10%までのガス流量域を制御する装置に、残余の圧力式流量制御装置を残りのガス流量域を制御する装置とし、更にチャンバに圧力検出器を設けると共に当該圧力検出器の検出値を制御装置へ入力し、圧力式流量制御装置への制御信号を調整してチャンバへのガス供給量を制御することにより、チャンバ内圧を制御する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)