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1. WO2005031831 - 気化器

注意: このテキストは、OCR 処理によってテキスト化されたものです。法的な用途には PDF 版をご利用ください。

[ JA ]

請求の範囲

[1] 液体若しくは粉体力なる原料溶液を分散したキャリアガスが上流側力供給される 螺旋状の反応管と、該反応管内を通過する原料溶液を分散したキャリアガスを輻射 熱で加熱して気化させるヒータとを備えることを特徴とする気化器。

[2] 前記ヒータが前記反応管の内側に配置されていることを特徴とする請求項 1に記載 の気化器。