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1. (WO2005031322) 環境保持装置および環境制御型分析装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2005/031322    国際出願番号:    PCT/JP2004/013539
国際公開日: 07.04.2005 国際出願日: 16.09.2004
IPC:
G01N 21/27 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KAWAHITO, Takashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KAWAHITO, Takashi; (JP)
代理人: NAGAI, Fuyuki; Iino Building, 2-1-1, Uchisaiwai-cho, Chiyoda-ku, Tokyo 1000011 (JP)
優先権情報:
2003-335630 26.09.2003 JP
発明の名称: (EN) ENVIRONMENT HOLDING APPARATUS AND ENVIRONMENT CONTROL TYPE ANALYZER
(FR) APPAREIL RESERVOIR DE MILIEU AMBIANT ET ANALYSEUR DE TYPE DE CONTROLE DE MILIEU AMBIANT
(JA) 環境保持装置および環境制御型分析装置
要約: front page image
(EN)An environment holding apparatus, comprising a first chamber holding a specimen and having an open surface, a moving stage having the first chamber thereon and moving two-dimensionally, and a first surface having an inlet part for introducing a gas of specified conditions into the first chamber through a pipe and installed to cover the open surface of the first chamber. The first surface is installed to be fixed relative to the movement of the moving stage, and the open surface of the first chamber is two-dimensionally moved along the first surface by the movement of the moving stage.
(FR)Cette invention se rapporte à un appareil réservoir de milieu ambiant, qui comprend une première chambre contenant un spécimen et présentant une surface ouverte, un étage mobile sur lequel est placée la première chambre et se déplaçant dans deux dimensions, et une première surface présentant une partie d'admission pour l'introduction d'un gaz aux conditions spécifiées dans la première chambre par l'intermédiaire d'un tuyau et montée de façon à recouvrir la surface ouverte de la première chambre. La première surface est montée en position fixe par rapport au déplacement de l'étage mobile, et la surface ouverte de la première chambre est déplacée dans deux dimensions le long de la première surface par le déplacement de l'étage mobile.
(JA) 環境保持装置は、試料を保持し、開放面を有する第1のチャンバーと、第1のチャンバーを搭載して2次元移動する移動ステージと、第1のチャンバー内に所定の条件の気体を配管を介して導入する導入部を有し第1のチャンバーの開放面を覆うように設けられた第1の面とを備え、第1の面は、移動ステージの移動に対して固定するように設けられ、第1のチャンバーの開放面は、移動ステージの移動により、第1の面に沿って2次元移動する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)