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1. (WO2005030837) 架橋性含フッ素芳香族プレポリマー及びその用途

Pub. No.:    WO/2005/030837    International Application No.:    PCT/JP2004/014200
Publication Date: 2005/04/07 International Filing Date: 2004/09/29
IPC: H01L 21/312
Applicants: ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED
旭硝子株式会社
YOKOTSUKA, Shunsuke
横塚 俊亮
ITO, Masahiro
伊藤 昌宏
TSURUOKA, Kaori
鶴岡 薫
Inventors: YOKOTSUKA, Shunsuke
横塚 俊亮
ITO, Masahiro
伊藤 昌宏
TSURUOKA, Kaori
鶴岡 薫
Title: 架橋性含フッ素芳香族プレポリマー及びその用途
Abstract:
 低い比誘電率、高い耐熱性、低い複屈折及び高い可とう性を併せ持つ硬化物を形成し得る架橋性含フッ素芳香族プレポリマーとその用途の提供。  架橋性官能基(A)及びフェノール性水酸基を有する化合物(Y−1)及び/又は基(A)及びフッ素原子置換芳香環を有する化合物(Y−2)と、式(1) [式中、nは0~2の整数、a、bはそれぞれ独立に0又は1~3の整数を表し、Rf1及びRf2は炭素数8以下の含フッ素アルキル基を表す。]で示される含フッ素芳香族化合物(B)と、フェノール性水酸基を3個以上有する化合物(C)とを、脱HF剤存在下に縮合反応させて得られ、架橋性官能基(A)及びエーテル結合を有し、数平均分子量が1×103~5×105である架橋性含フッ素芳香族プレポリマー。