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1. WO2005015570 - 透明基板を用いるプローブ顕微鏡のプローブ、その製造方法およびプローブ顕微鏡装置

公開番号 WO/2005/015570
公開日 17.02.2005
国際出願番号 PCT/JP2004/011351
国際出願日 06.08.2004
予備審査請求日 08.06.2005
IPC
G01Q 60/24 2010.01
G物理学
01測定;試験
Q走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
60特定の型のSPMまたはそのための装置;その基本的な構成部品
24AFMまたはそのための装置,例.AFM用のプローブ
G01Q 70/16 2010.01
G物理学
01測定;試験
Q走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
70SPMプローブの一般的観点またはその製造または関連する器具類で,グループG01Q60/00に包含される単一のSPM技術に特に適合していないもの
16プローブの製造
CPC
G01Q 20/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
20Monitoring the movement or position of the probe
02by optical means
G01Q 70/16
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
70General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
16Probe manufacture
出願人
  • 独立行政法人科学技術振興機構 JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 小林 大 KOBAYASHI, Dai [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 川勝 英樹 KAWAKATSU, Hideki [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 小林 大 KOBAYASHI, Dai
  • 川勝 英樹 KAWAKATSU, Hideki
代理人
  • 清水 守 SHIMIZU, Mamoru
優先権情報
2003-29098911.08.2003JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PROBE FOR PROBE MICROSCOPE USING TRANSPARENT SUBSTRATE, METHOD OF PRODUCING THE SAME, AND PROBE MICROSCOPE DEVICE
(FR) SONDE POUR MICROSCOPE-SONDE UTILISANT UN SUBSTRAT TRANSPARENT, PROCEDE DE PRODUCTION DE LADITE SONDE, ET MICROSCOPE-SONDE
(JA) 透明基板を用いるプローブ顕微鏡のプローブ、その製造方法およびプローブ顕微鏡装置
要約
(EN)
A probe for a probe microscope, the probe having a cantilever that is formed on the surface of an optically transparent substrate that has a function of an observation window, is small in size, and has increased accuracy. A method of producing the probe and a probe microscope device are also provided. A probe microscope has a probe having one or more cantilevers (1202, 1204) on one surface of each of transparent substrates (1201, 1203), the transparent substrates being formed from a material transparent to visible light or near-infrared light, the cantilevers being supported with a predetermined distance from the surfaces and formed from a thin film. The transparent substrate (1201) partitions environments of the inside and the outside of a container and has a function of an observation window enabling optical observation and measurement. The cantilevers (1202, 1204) can be optically observed or measured from the back surfaces of the transparent substrates (1201, 1203) and can be optically driven.
(FR)
L'invention concerne une sonde pour un microscope-sonde. Cette sonde comprend un porte-à-faux formé sur la surface d'un substrat optiquement transparent qui possède une fonction de fenêtre d'observation, qui est de petite taille et qui présente une précision élevée. L'invention concerne également un procédé de production de la sonde ainsi qu'un microscope-sonde. Le microscope-sonde comprend une sonde munie d'un ou de plusieurs porte-à-faux (1202, 1204) sur une surface de chacun des substrats transparents (1201, 1203), les substrats transparents étant constitués d'un matériau qui laisse passer la lumière visible ou la lumière proche infrarouge, les porte-à-faux étant supportés à une distance prédéterminée de la surface et constitués d'un film fin. Le substrat transparent (1201) sépare les environs de l'intérieur et de l'extérieur d'un récipient et possède une fonction de fenêtre d'observation permettant d'effectuer une observation et une mesure optiques. Il est possible de procéder à des observations et ou à des mesures optiques et d'effectuer des commandes optiques sur les porte-à-faux (1202, 1204) à partir des surfaces arrière des substrats transparents (1201, 1203).
(JA)
光学的に透明な基板の表面にカンチレバーを形成したプローブを使用し、しかも、のぞき窓の機能を併せ持つ小型で精度が向上した透明基板を用いるプローブ顕微鏡のプローブ、その製造方法およびプローブ顕微鏡装置を提供する。 可視光または近赤外光に対して透明な材質からなる透明基板1201,1203の片方の表面に該表面から所定の間隔を保持して支持されている薄膜からなる1個または複数のカンチレバー1202,1204を有するプローブを備え、前記透明基板1201は、容器の内外の環境を仕切りながら光学的な観察や測定を可能にするのぞき窓の機能を併せ持つとともに、前記カンチレバー1202,1204を前記透明基板1201,1203の裏面から光学的に観察または計測し、また光学的に駆動可能に構成する。
他の公開
RU2006105198
US2007158554
国際事務局に記録されている最新の書誌情報