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1. WO2005015026 - 真空ポンプ

公開番号 WO/2005/015026
公開日 17.02.2005
国際出願番号 PCT/JP2004/011069
国際出願日 03.08.2004
IPC
F04D 19/04 2006.01
F機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
D非容積形ポンプ
19特に圧縮性流体のための軸流ポンプ
02多段ポンプ
04高真空をつくるために特に採用されるもの,例.分子ポンプ
F04D 29/58 2006.01
F機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
D非容積形ポンプ
29細部,構成部材または付属品(機械要素一般F16)
58冷却;加熱;熱伝達の減少
CPC
F04D 19/042
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
042Turbomolecular vacuum pumps
F04D 25/06
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
25Pumping installations or systems
02Units comprising pumps and their driving means
06the pump being electrically driven
F04D 29/5806
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
29Details, component parts, or accessories
58Cooling
5806Cooling the drive system
F04D 29/584
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
29Details, component parts, or accessories
58Cooling
582specially adapted for elastic fluid pumps
584cooling or heating the machine
出願人
  • BOCエドワーズ株式会社 BOC EDWARDS JAPAN LIMITED [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 奥寺 智 OKUDERA, Satoshi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 前島 靖 MAEJIMA, Yasushi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 坂口 祐幸 SAKAGUCHI, Yoshiyuki [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 奥寺 智 OKUDERA, Satoshi
  • 前島 靖 MAEJIMA, Yasushi
  • 坂口 祐幸 SAKAGUCHI, Yoshiyuki
代理人
  • 和田 成則 WADA, Shigenori
優先権情報
2003-29037108.08.2003JP
2003-30021525.08.2003JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) VACUUM PUMP
(FR) POMPE A VIDE
(JA) 真空ポンプ
要約
(EN)
A vacuum pump capable of using common vacuum pump components even if the vacuum pump is formed in the same structure as a vacuum pump suitably maintaining the temperature of electrical parts by efficiently cooling the electrical parts for rotating a rotor but the shape thereof is different in size from the vacuum pump. The vacuum pump (100) of the first invention is one which creates a vacuum state by rotating the rotor (101) to suck and discharge gas. The electrical parts (103a, 103b) for rotating the rotor are stored, a water-cooled tube (104) is buried in the wall of a stator column (102a) formed integrally with a base (102b), the water supply port side and the water drain port side of the water-cooled tube are branched into a plurality of parts, and the water-cooled tube is installed near the electrical part disposed near the center of the vacuum pump. The vacuum pumps (200, 300) of the second invention are those which create a vacuum state by rotating the rotors (201, 301) on which rotating blades are disposed to suck and discharge the gas. Pump cases (209, 309) are supported by screw pump stators (208, 308), and the water-cooled tube is buried in the wall of a stator column (202a).
(FR)
L'invention concerne une pompe à vide permettant l'utilisation de composants de pompe à vide communs même si la pompe à vide est formée avec la même structure qu'une pompe à vide maintenant de façon convenable la température des parties électriques par refroidissement efficace des parties électriques en vue d'une rotation d'un rotor mais dont la forme est différente en taille par rapport à la pompe à vide. La pompe à vide (100) de la première invention permet de créer un état de vide par rotation du rotor (101) en vue d'aspirer et de décharger du gaz. Les parties électriques (103a, 103b) destinées à mettre en rotation le rotor sont stockées, le tube refroidi par eau (104) est encastré dans la paroi d'une colonne de stator (102a) formée en une seule pièce avec une base (102b), le côté de l'orifice d'alimentation d'eau et le côté de l'orifice de drainage d'eau du tube refroidi par eau est relié à plusieurs parties et le tube refroidi par eau est installé à proximité de la partie électrique disposée à proximité du centre de la pompe à vide. Les pompes à vide (200, 300) de la seconde invention sont celles qui créent un état de vide par rotation des rotors (201, 301) sur lesquels des ailettes rotatives sont placées afin d'aspirer et de décharger le gaz. Des corps de pompe (209, 309) sont supportés par des stators de pompe à vis (208, 308), et le tube refroidi à l'eau est encastré dans la paroi d'une colonne de stator (202a).
(JA)
not available
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