(EN) A wafer transportation system for effectively transporting wafers to a processing device. Two rails are vertically and parallelly arranged on inner sidewalls of a tunnel. The two rails each can support wafer transportation vehicles, and the vehicles drive along the rails by the drive of a motor. The tunnel has in its inside a first transportation path for transporting wafers and a second transportation path for transporting, above the first transportation path, wafers.
(FR) L'invention concerne un système de transport de plaquettes permettant de transporter efficacement des plaquettes vers un dispositif de traitement. Deux rails sont conçus verticalement et parallèlement sur des parois latérales intérieures d'un tunnel. Les deux rails peuvent chacun supporter des véhicules de transport de plaquettes et les véhicules circulent le long des rails, entraînés par un moteur. Le tunnel présente, à l'intérieur, un premier chemin de transport destiné au transport de plaquettes et un second chemin de transport destiné au transport de plaquettes au-dessus du premier chemin de transport.
(JA) 処理装置に対して効率的に基板を搬送する基板搬送システム。トンネルの内部側壁には、2本のレールが上下方向に平行に設けられている。これら2本のレールは、それぞれ複数の基板搬送車を支持可能であり、基板搬送車は、モータの駆動によりレールに沿って自走する。これによりトンネルは、その内部に、基板を搬送する第1搬送路と、第1搬送路の上方で基板を搬送する第2搬送路とを有することになる。