(EN) A wafer transportation system with which a system scale can be downsized. In the transportation system, a pump function is integrated in an air discharge unit. Air discharged from the air discharge unit is again sent to an ULPA unit through a pipe.
(FR) L'invention concerne un système de transport de plaquettes qui permet de réduire la taille d'un système. Dans ce système de transport, une fonction pompe est intégrée dans une unité d'évacuation d'air. L'air déchargé de l'unité d'évacuation d'air est à nouveau envoyée à une unité ULPA par une conduite.
(JA) システム規模を小さくすることが可能な基板搬送システム。基板搬送システムでは、空気排出ユニットにポンプ機能が組込まれている。そして空気排出ユニットから排出された空気は、パイプを通じて再度ULPAユニットに送られる。