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国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2004/063734 国際出願番号: PCT/JP2003/015164
国際公開日: 29.07.2004 国際出願日: 27.11.2003
予備審査請求日: 27.11.2003
IPC:
G01N 21/95 (2006.01) ,G06T 7/00 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21
光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84
特殊な応用に特に適合したシステム
88
きず,欠陥,または汚れの存在の調査
95
調査対象物の材質や形に特徴付けられるもの
G 物理学
06
計算;計数
T
イメージデータ処理または発生一般
7
イメージ分析,例.ビットマップから非ビットマップへ
出願人: UTO, Sachio[JP/JP]; JP (UsOnly)
NOGUCHI, Minori[JP/JP]; JP (UsOnly)
NISHIYAMA, Hidetoshi[JP/JP]; JP (UsOnly)
OSHIMA, Yoshimasa[JP/JP]; JP (UsOnly)
HAMAMATSU, Akira[JP/JP]; JP (UsOnly)
JINGU, Takahiro[JP/JP]; JP (UsOnly)
NAKATA, Toshihiko[JP/JP]; JP (UsOnly)
WATANABE, Masahiro[JP/JP]; JP (UsOnly)
HITACHI, LTD.[JP/JP]; 6-6, Marunouchi 1-chome Chiyoda-ku Tokyo 100-8280, JP (AllExceptUS)
HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION[JP/JP]; 24-14, Nishisinbasi 1-chome Minato-ku, Tokyo 105-8717, JP (AllExceptUS)
発明者: UTO, Sachio; JP
NOGUCHI, Minori; JP
NISHIYAMA, Hidetoshi; JP
OSHIMA, Yoshimasa; JP
HAMAMATSU, Akira; JP
JINGU, Takahiro; JP
NAKATA, Toshihiko; JP
WATANABE, Masahiro; JP
代理人: OGAWA, Katsuo; Nitto International Patent Office 8th Floor, No.17 Arai Building 3-3, Shinkawa 1-chome Chuo-ku, Tokyo 104-0033, JP
優先権情報:
2002-34432727.11.2002JP
発明の名称: (EN) DEFECT DETECTOR AND DEFECT DETECTING METHOD
(FR) DETECTEUR DE DEFAUT ET PROCEDE DE DETECTION DE DEFAUT
(JA) 欠陥検査装置および欠陥検査方法
要約:
(EN) A defect detector comprising a scan stage on which a substrate to be inspected is placed and which is movable in a predetermined direction, an illumination optical system for projecting an illumination light beam onto the surface of the substrate at a predetermined angle of inclination, a detection optical system composed of an up optical sensor for receiving scattered light reflected and scattered upward from the substrate and generating an up image signal and a side optical sensor for receiving scattered light reflected from the substrate and traveling in an inclined direction crossing the illumination light beam in a plane and generating a side image signal, and a signal processing system for detecting a defect, if any, according to the up and side image signals.
(FR) L'invention concerne un détecteur de défaut comprenant une platine de balayage sur laquelle est placé un substrat devant être inspecté et qui peut être déplacée dans un sens prédéterminé; un système optique d'éclairage conçu pour projeter un faisceau lumineux d'éclairage sur la surface du substrat à un angle d'inclinaison prédéterminé; un système optique de détection constitué d'un capteur optique supérieur conçu pour recevoir la lumière diffusée réfléchie et diffusée vers le haut depuis le substrat, générant un signal d'image ascendant, et d'un capteur optique latéral conçu pour recevoir la lumière diffusée réfléchie depuis le substrat et de manière oblique à travers le faisceau lumineux d'éclairage dans un plan; ce capteur optique génère un signal d'image latéral. Le détecteur décrit dans cette invention comprend également un système de traitement des signaux conçu pour détecter un défaut d'après les signaux d'image ascendants et latéraux.
(JA) not available
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指定国: CN, KR, US
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)