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1. (WO2004061941) 静電チャック
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2004/061941    国際出願番号:    PCT/JP2002/013645
国際公開日: 22.07.2004 国際出願日: 26.12.2002
IPC:
H01L 21/683 (2006.01), H02N 13/00 (2006.01)
出願人: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 5-1, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-8315 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YOSHIDA, Kazuto [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
INOUE, Masahiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MATSUDA, Ryuichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SAKAMOTO, Hitoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YOSHIDA, Kazuto; (JP).
INOUE, Masahiko; (JP).
MATSUDA, Ryuichi; (JP).
SAKAMOTO, Hitoshi; (JP)
代理人: SAKAI, Hiroaki; Tokyo Club Building, 2-6, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-0013 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) ELECTROSTATIC CHUCK
(FR) MANDRIN ELECTROSTATIQUE
(JA) 静電チャック
要約: front page image
(EN)The electrode pattern (3) of an electrostatic chuck (100) has linear parts (31a, 31b) in the radial direction and a plurality of C-shaped parts (32a, 32b) are branched from the linear parts (31a, 31b). The linear parts (31a, 31b) are located substantially on a line in the diametral direction while facing each other and the C-shaped parts (32a, 32b) form a pattern of a plurality of concentric circles arranged interdigitally.
(FR)Le motif d'électrode (3) d'un mandrin électrostatique (100) présente des parties linéaires (31a, 31b) dans le sens radial et une pluralité de parties en forme de C (32a, 32b) qui sont ramifiées à partir des parties linéaires (31a, 31b). Les parties linéaires (31a, 31b) se trouvent sensiblement sur une ligne dans le sens diamétral tout en se faisant face les unes aux autres et les parties en forme de C (32a, 32b) forment un motif fait d'une pluralité de cercles concentriques disposés de façon interdigitée.
(JA)静電チャック(100)の電極パターン(3)は、半径方向に直線部(31a、31b)を有し、この直線部(31a、31b)から枝状に複数のC字形状部(32a、32b)を延出した形状で、その直線部(31a、31b)は、互いに対向して直径方向となる略一直線上に位置し、前記C字形状部(32a、32b)は複数の同心円パターンを形成され、相互にくし歯状に入り込むようになる。
指定国: KR, US.
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)