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1. WO2004061881 - 薄膜コンデンサおよびその製造方法

公開番号 WO/2004/061881
公開日 22.07.2004
国際出願番号 PCT/JP2003/016654
国際出願日 25.12.2003
IPC
H01G 4/12 2006.1
H電気
01基本的電気素子
Gコンデンサ;電解型のコンデンサ,整流器,検波器,開閉装置,感光装置また感温装置
4固定コンデンサ;その製造方法
002細部
018誘電体
06固体誘電体
08無機誘電体
12セラミック誘電体
H01G 4/32 2006.1
H電気
01基本的電気素子
Gコンデンサ;電解型のコンデンサ,整流器,検波器,開閉装置,感光装置また感温装置
4固定コンデンサ;その製造方法
32巻回したコンデンサ
H01G 4/33 2006.1
H電気
01基本的電気素子
Gコンデンサ;電解型のコンデンサ,整流器,検波器,開閉装置,感光装置また感温装置
4固定コンデンサ;その製造方法
33薄膜または厚膜コンデンサ
H01L 29/76 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
29整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部
66半導体装置の型
68整流,増幅またはスイッチされる電流を流さない電極に電流のみまたは電位のみを与えることにより制御できるもの
76ユニポーラ装置
CPC
H01G 4/10
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
4Fixed capacitors; Processes of their manufacture
002Details
018Dielectrics
06Solid dielectrics
08Inorganic dielectrics
10Metal-oxide dielectrics
H01G 4/12
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
4Fixed capacitors; Processes of their manufacture
002Details
018Dielectrics
06Solid dielectrics
08Inorganic dielectrics
12Ceramic dielectrics
H01G 4/228
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
4Fixed capacitors; Processes of their manufacture
002Details
228Terminals
H01G 4/32
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
4Fixed capacitors; Processes of their manufacture
32Wound capacitors
H01G 4/33
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
4Fixed capacitors; Processes of their manufacture
33Thin- or thick-film capacitors
H01L 27/016
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
27Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
01comprising only passive thin-film or thick-film elements formed on a common insulating substrate
016Thin-film circuits
出願人
  • TDK CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • SAKASHITA, Yukio
  • CHOI, Kyung-ku
代理人
  • OISHI, Koichi
優先権情報
10/331,14027.12.2002US
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) THIN FILM CAPACITOR AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) CONDENSATEUR A FILM MINCE ET SON PROCEDE DE FABRICATION
(JA) 薄膜コンデンサおよびその製造方法
要約
(EN) A small-sized, high-capacity thin film capacitor which is excellent in dielectric characteristics and a method for manufacturing such a capacitor are disclosed. The thin film capacitor comprises a supporting substrate having a surface oriented in the [001] direction, a buffer layer disposed on the supporting layer and having a surface oriented in the [001] direction, a lower electrode thin film disposed on the buffer layer and oriented in the [001] direction, a dielectric thin film disposed on the lower electrode thin film and containing a bismuth lamellar compound oriented in the [001] direction, namely in the c-axis direction, and an upper electrode thin film disposed on the dielectric thin film.
(FR) L'invention porte sur un condensateur à film mince, de haute capacité et de faible encombrement, qui présente d'excellentes caractéristiques diélectriques, et sur un procédé de fabrication de ce condensateur. Le condensateur à film mince comprend un substrat dont une surface est orientée dans le sens [001], une couche tampon disposée sur la couche de support et dont une surface est orientée dans le sens [001], un film mince d'électrode inférieure disposé sur la couche tampon et orienté dans le sens [001], un film mince de diélectrique disposé sur le film mince de l'électrode inférieure et contenant un composé lamellaire de bismuth orienté dans le sens [001], à savoir dans le sens de l'axe c, et un film mince d'électrode supérieure disposé sur le film mince de diélectrique.
(JA) 本発明は、小型で、かつ、大容量の誘電特性に優れた薄膜コンデンサおよびその製造方法を提供することを目的とするものである。本発明にかかる薄膜コンデンサは、表面が[001]方位に配向している支持基板と、支持基板上に設けられ、表面が[001]方位に配向しているバッファ層と、バッファ層上に設けられ、[001]方位に配向している下部電極薄膜と、下部電極薄膜上に設けられ、[001]方位に、すなわち、c軸方向に配向されているビスマス層状化合物を含む誘電体薄膜と、誘電体薄膜上に設けられた上部電極薄膜とを備えている。
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