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1. (WO2004058629) 微小構造体の製造方法、及び型材の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2004/058629    国際出願番号:    PCT/JP2003/014978
国際公開日: 15.07.2004 国際出願日: 25.11.2003
IPC:
B01J 37/34 (2006.01), C01B 31/02 (2006.01), H01J 9/02 (2006.01)
出願人: SONY CORPORATION [JP/JP]; 7-35, Kitashinagawa 6-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 141-0001 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KADONO, Koji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MURAKAMI, Yosuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KADONO, Koji; (JP).
MURAKAMI, Yosuke; (JP)
代理人: NAKAMURA, Tomoyuki; c/o Miyoshi International Patent Office, Toranomon Kotohira Tower, 2-8, Toranomon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 105-0001 (JP)
優先権情報:
2002-372277 24.12.2002 JP
発明の名称: (EN) METHOD OF MANUFACTURING MICRO STRUCTURE, AND METHOD OF MANUFACTURING MOLD MATERIAL
(FR) PROCEDE DE PRODUCTION DE MICROSTRUCTURE ET PROCEDE DE PRODUCTION D'ELEMENT MOULE
(JA) 微小構造体の製造方法、及び型材の製造方法
要約: front page image
(EN)A method of manufacturing micro structures capable of forming micro holes with finer scale in an environment in which impurities is negligible and manufacturing the finer and highly crystallizable micro structures by the micro holes, and a method of manufacturing a mold material, the method of manufacturing the micro structures comprising the steps of forming the micro holes (4) by radiating a converged energy beam (3) to a substrate (1) forming the mold material (5) and making grow the micro structures (8) in the micro holes (4); the method of manufacturing the mold material comprising the step of forming the micro holes (4) by radiating the converged energy beam (3) to the substrate (1) forming the mold material (5).
(FR)L'invention concerne un procédé de production de microstructures permettant la formation de micro-orifices présentant une échelle plus petite dans un environnement contenant un taux d'impuretés négligeable, et la production de microstructures de dimension réduite et à forte cristallisation dans la région de ces micro-orifices, et un procédé de production d'élément moulé. Les étapes du procédé de production de microstructures consistent à former les micro-orifices (4) par projection d'un faisceau (3) d'énergie convergeant sur un substrat (1), à former l'élément (5) moulé, et à faire croître des microstructures (8) dans les micro-orifices (4). Les étapes du procédé de production d'élément moulé consistent à former les micro-orifices (4) en projetant un faisceau (3) d'énergie convergeant sur le substrat (1) de manière à former l'élément moulé.
(JA)不純物の無視できる環境で、より微細なスケールで細孔を作ることができ、この細孔によって、より微細で結晶性の高い微小構造体を作製することができる微小構造体の製造方法、及び型材の製造方法を提供すること。型材(5)となる基体(1)に対して収束されたエネルギービーム(3)を照射して細孔(4)を形成する工程と、細孔(4)内に微小構造体(8)を成長させる工程とを有する、微小構造体の製造方法。型材(5)となる基体(1)に対して収束されたエネルギービーム(3)を照射して細孔(4)を形成する工程を有する、型材の製造方法。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)