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1. (WO2004055523) 半導体加速度センサ及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2004/055523    国際出願番号:    PCT/JP2003/016200
国際公開日: 01.07.2004 国際出願日: 17.12.2003
IPC:
G01P 15/08 (2006.01), G01P 15/12 (2006.01), G01P 15/18 (2013.01), H01L 29/84 (2006.01)
出願人: HOKURIKU ELECTRIC INDUSTRY CO.,LTD. [JP/JP]; 3158, Shimo-okubo, Osawano-machi, Kami-niikawagun, Toyama 939-2292 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HIROSE, Shigeru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ANDO, Masato [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SAWAI, Tsutomu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAKAMIZO, Yoshiyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HIROSE, Shigeru; (JP).
ANDO, Masato; (JP).
SAWAI, Tsutomu; (JP).
NAKAMIZO, Yoshiyuki; (JP)
代理人: NISHIURA, Tsuguharu; NISHIURA & ASSOCIATES, Toranomon 34 MT Building 9F, 25-5, Toranomon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 105-0001 (JP)
優先権情報:
2002-365863 17.12.2002 JP
発明の名称: (EN) SEMICONDUCTOR ACCELERATION SENSOR AND MEHOD OF PRODUCING THE SAME
(FR) CAPTEUR D'ACCELERATION SEMI-CONDUCTEUR ET PROCEDE DE FABRICATION DE CELUI-CI
(JA) 半導体加速度センサ及びその製造方法
要約: front page image
(EN)A semiconductor acceleration sensor where the number of parts is reduced so that its thickness can be reduced. A weight (5) is constructed from a main body portion (30) fixed to a weight-fixing portion (7) and a projection portion (31) having a first contact portion (41) and a second contact portion (45). The first contact portion (41) projects from the main body portion (30) into a gap between an inner periphery (13) of a support portion (9) and an exposed surface (25) of a base (3), and comes into contact with the inner periphery (13) when the weight (5) is displaced by a predetermined amount to the saggable portion (11) side. The second contact portion (45) comes into contact with the exposed surface (25) when the weight (5) is displaced by a predetermined amount to the base (3) side. A first stopper structure is formed by the inner periphery (13) and the first contact portion (41), and the structure limits the range of the amount of displacement of the weight (5) in which displacement the weight is displaced to the saggable portion (11) side and in a radial direction relative to a center line (C) as the center. A second stopper structure is formed by the exposed surface (25) and the second contact portion (45), where the structure limits the range of the amount of displacement of the weight (5) in which displacement the weight is displaced to the base (3) side.
(FR)L'invention concerne un capteur d'accélération semi-conducteur dont le nombre de parties est réduit afin de diminuer l'épaisseur de celui-ci. Un poids (5) est construit à partir d'une partie de corps principal (30) fixée sur une partie de fixation de poids (7) et d'une partie en saillie (31) possédant une première partie de contact (41) et une seconde partie de contact (45). La première partie de contact (41) est en saillie à partir de la partie du corps principal (30) dans un intervalle situé entre une périphérie interne (13) d'une partie support (9) et une surface exposée (25) d'une base (3) et elle vient en contact avec la périphérie interne (13) quand le poids est déplacé sur une distance prédéterminée vers le côté d'une partie pouvant être affaissée (11). La seconde partie de contact (45) vient en contact avec la surface exposée (25) quand le poids (5) est déplacé sur une distance prédéterminée vers le côté de la base (3). Une première structure de butée est formée par la périphérie interne (13) et la première partie de contact (41) et elle limite la gamme de distances de déplacement du poids (5) dans laquelle le poids est déplacé vers le côté de la partie pouvant être affaissée (11) et dans un sens radial par rapport à une ligne centrale (C) servant de centre. Une seconde structure de butée est formée par la surface exposée (25) et la seconde partie de contact (45) et elle limite la gamme de distances de déplacement du poids (5) dans laquelle le poids est déplacé vers le côté de la base (3).
(JA) 部品点数を少なくして厚み寸法を小さくできる半導体加速度センサを提供する。重錘固定部7に固定される本体部30と、本体部30から支持部9の内周面13と台座3の露出面25との間の間隙内に突出して、重錘5が可撓部11側に所定量変位したときに内周面13と当接する第1の当接部41と台座3側に所定量変位したときに露出面25と当接する第2の当接部45とを有する突出部31とから重錘5を構成する。内周面13と第1の当接部41とにより重錘5が可撓部11側及び中心線Cを中心とする放射方向に変位する変位量の範囲を規制する第1のストッパ構造を構成し、露出面25と第2の当接部45とにより重錘5が台座3側に変位する変位量の範囲を規制する第2のストッパ構造を構成する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)