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1. WO2004043653 - 搬送機構の基準位置の補正装置および補正方法

公開番号 WO/2004/043653
公開日 27.05.2004
国際出願番号 PCT/JP2003/014479
国際出願日 13.11.2003
予備審査請求日 08.06.2004
IPC
B25J 9/16 2006.01
B処理操作;運輸
25手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
Jマニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
9プログラム制御マニプレータ
16プログラム制御
B25J 19/02 2006.01
B処理操作;運輸
25手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
Jマニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
19マニプレータに適合する付属装置,例.監視のための,探知のための;マニプレータと関連して使用するために結合または特に適用される安全装置
02センサー
B62D 57/032 2006.01
B処理操作;運輸
62鉄道以外の路面車両
D自動車;付随車
57車輪または軌道帯以外の他の推進装置または接地装置を単独または車輪または軌道帯に加えて有することを特徴とする車両
02接地推進装置を持つもの,例.足踏部材
032交互にまたは連続して持ち上げられる支持台と脚をもつもの;交互にまたは連続して持ち上げられる足または滑走部をもつもの
H01L 21/677 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
H01L 21/68 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
68位置決め,方向決め,または整列のためのもの
CPC
B25J 19/021
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
19Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
02Sensing devices
021Optical sensing devices
B25J 9/1692
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
9Programme-controlled manipulators
16Programme controls
1679characterised by the tasks executed
1692Calibration of manipulator
B62D 57/032
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
62LAND VEHICLES FOR TRAVELLING OTHERWISE THAN ON RAILS
DMOTOR VEHICLES; TRAILERS
57Vehicles characterised by having other propulsion or other ground- engaging means than wheels or endless track, alone or in addition to wheels or endless track
02with ground-engaging propulsion means, e.g. walking members
032with alternately or sequentially lifted supporting base and legs; with alternately or sequentially lifted feet or skid
H01L 21/67766
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67763the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
67766Mechanical parts of transfer devices
H01L 21/681
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
68for positioning, orientation or alignment
681using optical controlling means
出願人
  • TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • SHINKO ELECTRIC CO., LTD. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • SAEKI, Hiroaki [JP]/[JP] (UsOnly)
  • KAMIGAKI, Toshio [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • SAEKI, Hiroaki
  • KAMIGAKI, Toshio
代理人
  • YOSHITAKE, Kenji
優先権情報
2002-33121314.11.2002JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) DEVICE FOR CORRECTING REFERENCE POSITION FOR TRANSFER MECHANISM, AND CORRECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF DE CORRECTION DE LA POSITION DE REFERENCE POUR UN MECANISME DE TRANSFERT, ET PROCEDE DE CORRECTION
(JA) 搬送機構の基準位置の補正装置および補正方法
要約
(EN)
A transfer mechanism (22) is installed in a transfer vessel (10). This transfer mechanism includes a movable body (38) installed for horizontal movement, a rotary base block (48) attached for horizontal rotation and lifting/lowering motion to the movable body, and two arm mechanisms adapted to horizontally bend and stretch with respect to the rotary base block. A reference position correction device for the transfer mechanism comprises a light emitting section (66) and a light receiving section (68) that are positionally fixed to the transfer vessel and that emits and receives test light (L), respectively, and a correction means (62). The correction means corrects the reference positions for the rotary base block in horizontal, vertical and rotational directions and the reference position for the arm mechanism in the bending and stretching directions, on the basis of the detection of the passage and blockage of light by the light receiving section in response to the movement and rotation of the rotary base block. Attached to the rotary base block is a light blocking member adapted to cause switching between the passage and blockage of test light attending on the movement and rotation thereof.
(FR)
Mécanisme de transfert (22) installé dans un bassin de transfert (10), qui possède un corps mobile (38) monté de manière à effectuer un mouvement horizontal, un bloc de base rotatif (48) attaché au corps mobile et capable d'effectuer une rotation horizontale et un mouvement de levage / abaissement et deux mécanismes bras adaptés pour se plier horizontalement et s'étendre par rapport au bloc de base rotatif. Un dispositif de correction de position de référence pour ledit mécanisme de transfert comporte une partie émettrice (66) de lumière et une partie réceptrice (68) de lumière qui sont fixées à demeure au bassin de transfert et qui émettent et reçoivent respectivement de la lumière d'essai (L), ainsi qu'un moyen de correction (62). Le moyen de correction corrige les positions de référence du bloc de base rotatif dans les sens horizontal, vertical et rotationnel et la position de référence du mécanisme bras dans les directions de pliage et d'extension, sur la base de la détection du passage et du blocage de lumière par la partie réceptrice de lumière en réponse au mouvement et à la rotation du bloc de base rotatif. Un élément de blocage de lumière adapté pour provoquer la commutation entre le passage et le blocage de la lumière d'essai en fonction du mouvement et de la rotation du bloc de base rotatif est attaché audit bloc de base rotatif.
(JA)
搬送容器(10)内に搬送機構(22)が設けられる。この搬送機構は、水平方向へ移動可能に設けられた移動体(38)と、この移動体に対して水平旋回および昇降可能に取り付けられた回転基台(48)と、この回転基台に対して水平に屈伸可能な2つのアーム機構と有する。この搬送機構のための基準位置補正装置は、搬送容器に対して位置固定された検査光(L)を射出および受光する発光部(66)および受光部(68)と、補正手段(62)とを備える。補正手段は、回転基台の移動および旋回に応じた受光部による通光と遮光の検知に基づいて、回転基台の水平、垂直および旋回の各方向の基準位置とアーム機構の屈伸方向の基準位置とを補正する。回転基台に対しては、その移動および旋回に伴って検査光の通光と遮光との切り換えを生じさせる遮光部材が取り付けられている。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報