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1. (WO2004015760) 異方導電性コネクターおよび導電性ペースト組成物、プローブ部材並びにウエハ検査装置およびウエハ検査方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2004/015760    国際出願番号:    PCT/JP2003/010055
国際公開日: 19.02.2004 国際出願日: 07.08.2003
予備審査請求日:    28.01.2004    
IPC:
G01R 1/073 (2006.01), H01L 23/498 (2006.01)
出願人: JSR CORPORATION [JP/JP]; 6-10, Tsukiji 5-chome, Chuo-ku, Tokyo 104-0045 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SETAKA, Ryoji [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SETAKA, Ryoji; (JP)
代理人: OHI, Masahiko; Nissenren-Asahiseimei Building, 4, Kanda Surugadai 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 101-0062 (JP)
優先権情報:
2002-232202 09.08.2002 JP
発明の名称: (EN) ANISOTROPIC CONDUCTIVITY CONNECTOR, CONDUCTIVE PASTE COMPOSITION, PROBE MEMBER, WAFER INSPECTING DEVICE, AND WAFER INSPECTING METHOD
(FR) CONNECTEUR A CONDUCTIVITE ANISOTROPE, COMPOSITION DE PATE CONDUCTRICE, ELEMENT DE SONDE, DISPOSITIF ET PROCEDE D'INSPECTION DE PLAQUETTES
(JA) 異方導電性コネクターおよび導電性ペースト組成物、プローブ部材並びにウエハ検査装置およびウエハ検査方法
要約: front page image
(EN)An anisotropic conductivity connector wherein, even if the pitches between electrodes to be connected are small, the conductivity of all the connection conductive sections are favorable and insulation between adjacent connection conductive sections is reliably achieved, and the favorable conductivity can be maintained for a long term even if the connector is used repetitively in a high-temperature environment, and its application are disclosed. The connector comprises elastic anisotropic conductive films having connection conductive sections containing conductive particles and extending in the direction of thickness. The connector is characterized in that, letting the shortest width of the connection conductive sections be W and the number average particle size of the conductive particles be Dn, the ratio W/Dn of the shortest width to the number average particle size ranges from 3 to 8, and the variation factor of the particle size of the conductive particles is 50% or less.
(FR)L'invention concerne, d'une part, un connecteur à conductivité anisotrope, dont la conductivité de toutes les sections conductrices de connexion est favorable et l'isolation entre lesdites sections est obtenue de manière fiable même si les pas entre des électrodes à connecter sont petits, et dont la conductivité favorable peut être maintenue pour une longue durée même si le connecteur est utilisé de façon répétée dans un environnement à température élevée et, d'autre part, l'utilisation dudit connecteur. Ce dernier comporte des films conducteurs anisotropes élastiques pourvus de sections conductrices de connexion qui renferment des particules conductrices et qui s'étendent dans le sens de l'épaisseur. Ledit connecteur est caractérisé en ce que la largeur la plus petite desdites sections est W et en ce qui la taille particulaire moyenne des particules conductrices est Dn, le rapport W/Dn de la largeur la plus petite en fonction de la taille particulaire moyenne étant compris entre 3 et 8 et le facteur de variation de la taille particulaire desdites particules étant de 50 % au maximum.
(JA) 接続対象電極のピッチが小さいものでも、全ての接続用導電部の導電性が良好で隣接する接続用導電部間の絶縁性が確実に得られ、高温環境下において繰り返し使用した場合にも、長期間にわたって良好な導電性が維持される異方導電性コネクターおよびその応用が開示されている。 上記のコネクターは、導電性粒子が含有された厚み方向に伸びる複数の接続用導電部が形成されてなる弾性異方導電膜を有する異方導電性コネクターにおいて、前記接続用導電部の最短幅をWとし、前記導電性粒子の数平均粒子径をDnとしたとき、導電性粒子の数平均粒子径に対する接続用導電部の最短幅の比W/Dnの値が3~8の範囲にあり、当該導電性粒子の粒子径の変動係数が50%以下であることを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)