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1. (WO2004015370) 角速度センサ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2004/015370    国際出願番号:    PCT/JP2003/009991
国際公開日: 19.02.2004 国際出願日: 06.08.2003
IPC:
G01C 19/56 (2006.01)
出願人: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. [JP/JP]; 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 571-8501 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAKANISHI, Tsutomu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TAJIKA, Hirofumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HAYASHI, Michihiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OUCHI, Satoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAKANISHI, Tsutomu; (JP).
TAJIKA, Hirofumi; (JP).
HAYASHI, Michihiko; (JP).
OUCHI, Satoshi; (JP)
代理人: IWAHASHI, Fumio; c/o Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 571-8501 (JP)
優先権情報:
2002-229756 07.08.2002 JP
発明の名称: (EN) ANGULAR-VELOCITY SENSOR
(FR) CAPTEUR DE VITESSE ANGULAIRE
(JA) 角速度センサ
要約: front page image
(EN)An angular-velocity sensor comprising a substrate (1) having a tuning-fork shape, drive units (110) each provided on an arm portion constituting a tuning form to vibrate that arm portion, monitor units (150) for detecting vibration produced by respective drive units (110), and detectors (120) for detecting the displacement of vibration when an angular velocity is worked on, wherein each drive unit (110), each monitor unit (150) and each detector (120) respectively consist of a lower electrode layer, a piezoelectric thin film and an upper electrode layer that are formed on an arm portion, and the outer peripheral end of a piezoelectric thin film consists of a step shape having at least one flat portion on which no upper electrode layer is provided to thereby prevent short-circuiting between lower electrode layers and upper electrode layers.
(FR)L'invention concerne un capteur de vitesse angulaire comprenant un substrat (1) en forme de diapason, des unités de commande (110) situées sur une partie des bras du diapason et servant à faire vibrer la partie du bras correspondante, des unités de contrôle (150) servant à détecter les vibrations produites par les unités de commande (110) respectives, ainsi que des détecteurs (120) servant à détecter le déplacement des vibrations lors de la mesure d'une vitesse angulaire. Chaque unité de commande (110), unité de contrôle (150) et détecteur (120) est composé respectivement d'une couche d'électrode inférieure, d'une couche mince piézoélectrique et d'une couche d'électrode supérieure formées sur une partie des bras. L'extrémité périphérique externe d'une couche mince piézoélectrique présente un profil étagé comportant au moins une partie plane ne comprenant pas de couche d'électrode supérieure pour éviter les courts-circuits entre les couches d'électrode inférieure et les couches d'électrode supérieure.
(JA)音叉型形状を有する基板(1)と、音叉を構成する腕部に設けられ腕部を振動させる駆動部(110)と、駆動部(110)により発生した振動を検知するモニター部(150)と、角速度が加わったときの振動の変位を検知する検出部(120)とを備え、駆動部(110)、モニター部(150)および検出部(120)は、腕部上に形成された下部電極層、圧電薄膜および上部電極層からなり、圧電薄膜の外周端部は少なくとも一つの平坦部を有する階段形状からなり、外周端部の平坦部には上部電極層が設けられていない構成とすることで、下部電極層と上部電極層間の短絡を防止する。
指定国: CN, JP, US.
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)