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1. (WO2004013918) 圧電/電歪膜型素子の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2004/013918    国際出願番号:    PCT/JP2003/009609
国際公開日: 12.02.2004 国際出願日: 29.07.2003
IPC:
H01L 41/09 (2006.01), H01L 41/24 (2006.01)
出願人: NGK INSULATORS, LTD. [JP/JP]; 2-56, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi 467-8530 (JP)
発明者: OHNISHI, Takao; (JP).
MURASATO, Masahiro; (JP).
BESSHO, Yuki; (JP).
TAKAHASHI, Nobuo; (JP)
代理人: WATANABE, Kazuhira; 3rd Fl., No.8 Kikuboshi Tower Building, 20-18, Asakusabashi 3-chome, Taito-ku, Tokyo 111-0053 (JP)
優先権情報:
60/400,513 02.08.2002 US
発明の名称: (EN) PIEZOELECTRIC/ELECTRO STRICTIVE FILM DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) PROCEDE POUR LA FABRICATION D'UN DISPOSITIF A FILM PIEZOELECTRIQUE/ELECTROSTRICTIF
(JA) 圧電/電歪膜型素子の製造方法
要約: front page image
(EN)A method for manufacturing a piezoelectric/electrostrictive film device having a ceramic base and a piezoelectric/electrostrictive acting part that includes a lower electrode, a piezoelectric/electrostrictive layer and an upper electrode and is formed on the ceramic base, wherein the piezoelectric/electrostrictive layer is formed over at least one of the electrodes and the ends of the piezoelectric/electrostrictive extend beyond at least the one of the electrodes, comprising the steps of forming, over the one of the electrodes, the piezoelectric/electrostrictive layer constituting the piezoelectric/electrostrictive acting part and having projecting ends, fully placing a coating liquid prepared by mixing a polymerizable oligomer and organic particles in a dispersion medium at least in the gaps between the projecting ends of the piezoelectric/electrostrictive layer and the base and applying the coating liquid to only a predetermined portion of at least the one of the electrodes in a sufficient amount, and drying the coating liquid to form a connection member for connecting the projecting ends of the piezoelectric/electrostrictive layer and the base.
(FR)L'invention concerne un procédé pour fabriquer un dispositif à film piézoélectrique/électrostrictif comprenant une base céramique et une partie active piézoélectrique/électrostrictive qui comporte une électrode inférieure, une couche piézoélectrique/électrostrictive et une électrode supérieure et qui est formée sur la base céramique, la couche piézoélectrique/électrostrictive étant formée au-dessus d'au moins une des électrodes et ses extrémités s'étendant au-delà de cette électrode. Le procédé selon l'invention comprend les étapes suivantes : formation, au-dessus de l'une des électrodes, de la couche piézoélectrique/électrostrictive constituant la partie active piézoélectrique/électrostrictive et ayant des extrémités saillantes ; dépôt d'un liquide de revêtement, préparé en mélangeant un oligomère polymérisable et des particules organiques dans un milieu de dispersion, au moins dans les intervalles situés entre les extrémités saillantes de la couche piézoélectrique/électrostrictive et la base et application d'une quantité suffisante du liquide de revêtement uniquement à une partie prédéterminée de l'électrode ; enfin, séchage du liquide de revêtement afin de former un élément de liaison servant à raccorder les extrémités saillantes de la couche piézoélectrique/électrostrictive à la base.
(JA)セラミックスからなる基体と、同基体上に下部電極、圧電/電歪層及び上部電極を含む圧電/電歪作動部が設けられた圧電/電歪膜型素子であって、圧電/電歪層が少なくとも一個の電極を超えて設けられており、且つ、その端部は上記の少なくとも一個の電極よりも突き出ている素子の製造方法であって、圧電/電歪作動部を構成する圧電/電歪層を、その端部を突出させ、且つ、上記の少なくとも一個の電極を超えて形成させる工程と、重合性オリゴマーと無機粒子とを分散媒中に混合して調整した塗布液を、少なくとも圧電/電歪層の突出した端部と基体との間隙に充分に浸入させると共に、上記の少なくとも一個の電極の所定の部分のみを塗布するに充分な塗布量で塗布する工程と、塗布液を乾燥して、圧電/電歪層の突出した端部と基体とを連結する連結材を形成する工程を含む圧電/電歪膜型素子の製造方法。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)