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1. (WO2004010491) プローブ装置及びプローブカードのチャンネル情報作成プログラム並びにプローブカードのチャンネル情報作成装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2004/010491    国際出願番号:    PCT/JP2003/009264
国際公開日: 29.01.2004 国際出願日: 22.07.2003
IPC:
G01R 1/073 (2006.01), G01R 31/319 (2006.01), G01R 35/00 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
FUKASAWA, Yukihiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ABE, Hironobu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: FUKASAWA, Yukihiko; (JP).
ABE, Hironobu; (JP)
代理人: SUZUYE, Takehiko; c/o SUZUYE & SUZUYE, 7-2, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-0013 (JP)
優先権情報:
2002-212810 22.07.2002 JP
発明の名称: (EN) PROBE DEVICE, PROBE CARD CHANNEL INFORMATION CREATION PROGRAM, AND PROBE CARD CHANNEL INFORMATION CREATION DEVICE
(FR) SONDE, PROGRAMME ET DISPOSITIF DE CREATION D'INFORMATIONS CONCERNANT LES CANAUX DE CARTES SONDES,
(JA) プローブ装置及びプローブカードのチャンネル情報作成プログラム並びにプローブカードのチャンネル情報作成装置
要約: front page image
(EN)A plurality of channel areas corresponding to respective channels (14’) (a group of probes) of a probe card (3) are arranged in a matrix and displayed on a display section (45). Among these, a plurality of channel areas corresponding to the probe card channel layout are specified by a pointing device (301). Each of the channel areas is successively specified by the pointing device and added by an identification number. Channel information is created for relating the channel layout information to the identification numbers. The channel information has a data structure where channel relative coordinates are arranged in the order of the identification numbers. The probe device prepares a common program for inspecting various types of probe cards and performs inspection by using the channel information.
(FR)L'invention concerne une multitude de zones de canaux correspondant à des canaux respectifs (14') (un ensemble de sondes) d'une carte sonde (3), lesquelles zones sont disposées dans une matrice et présentées sur une section de présentation (45). Une multitude de zones de canaux correspondant à l'implantation des canaux de la carte sonde sont spécifiées par un dispositif de pointage (301). Chacune des zones de canaux est spécifiée successivement par le dispositif de pointage et dotée d'un numéro d'identification. Des informations relatives aux canaux sont créées de manière à relier les informations concernant l'implantation des canaux et les numéros d'identification. Les informations relatives aux canaux présentent une structure de données dans laquelle les coordonnées relatives aux canaux sont disposées dans l'ordre des numéros d'identification. La sonde prépare un programme commun permettant d'inspecter divers types de cartes sondes et d'effectuer une inspection au moyen des informations relatives aux canaux.
(JA)プローブカード3の各チャンネル14'(一群のプローブ)に対応する複数のチャンネル領域をマトリックス状に配列して表示部45に表示する。この中から、プローブカードのチャンネルのレイアウトに対応する複数のチャンネル領域をポインティングデバイス301で指定する。複数のチャンネル領域の中の各々を、ポインティングデバイスで順次指定し識別番号を付与する。チャンネルのレイアウト情報と識別番号とを対応付けたチャンネル情報を作成する。チャンネル情報は、識別番号の番号順にチャンネルの相対座標が配列されているデータ構造とする。プローブ装置側では各種のプローブカードに対して共通の検査用のプログラムを用意し、このチャンネル情報を用いて検査を行う。
指定国: KR, US.
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)