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1. (WO2004010483) 照明光学装置、露光装置および露光方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2004/010483    国際出願番号:    PCT/JP2003/007692
国際公開日: 29.01.2004 国際出願日: 17.06.2003
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TOYODA, Mitsunori [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TOYODA, Mitsunori; (JP)
代理人: YAMAGUCHI, Takao; Daiichi Bldg., 10, Kanda-tsukasa-cho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 101-0048 (JP)
優先権情報:
2002-208985 18.07.2002 JP
発明の名称: (EN) ILLUMINATING OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE SYSTEM AND EXPOSURE METHOD
(FR) SYSTEME OPTIQUE D'ECLAIRAGE, SYSTEME D'EXPOSITION ET PROCEDE D'EXPOSITION
(JA) 照明光学装置、露光装置および露光方法
要約: front page image
(EN)An illuminating optical system substantially free from micro-channel in a diffractive optics disposed on the optical path of a laser beam having a high energy density. An illuminating optical system having a light source (1) for supplying a pulse laser beam that is used to illuminate a surface to be illuminated (M). A diffractive optics (4) disposed on an optical path is provided, the optical path being provided between a light source and a surface to be illuminated to allow a light flux having an energy density of at least 1 mJ/cm2/pulse to pass through. The diffractive optics is formed of an oxide crystal material such as quartz.
(FR)L'invention concerne un système optique d'éclairage sensiblement dépourvu de microcanal dans une optique de diffraction placée sur le trajet optique d'un faisceau laser à haute densité d'énergie. On décrit un système optique d'éclairage à source lumineuse (1) fournissant un faisceau laser pulsé qui éclaire une surface cible (M). Une optique de diffraction (4) est placée sur un trajet optique établi entre une source lumineuse et une surface cible, permettant le passage d'un flux lumineux à densité d'énergie d'au moins 1mJ/cm2/impulsion. Ladite optique est en matériau à base de cristal d'oxyde du type quartz.
(JA)エネルギ密度の高いパルスレーザ光の光路中に配置された回折光学素子においてマイクロチャネルが実質的に発生することのない照明光学装置。パルスレーザ光を供給する光源(1)を有し、この光源からの光で被照射面(M)を照明する照明光学装置。光源と被照射面との間の光路中であって、1mJ/cm2/パルス以上のエネルギ密度を有する光束が通過する光路中に配置された回折光学素子(4)を備えている。回折光学素子は、水晶のような酸化物結晶材料で形成されている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)